【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种太阳能电池非晶硅与多晶硅薄膜界面的钝化方法，其特征在于，该方法是采用等离子体增强化学气相沉积的方法，在通入腔室氢气的情况下，对太阳能电池的非晶硅与多晶硅薄膜界面进行钝化处理。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李浩，曾湘波，谢小兵，杨萍，李敬彦，张晓东，王启明，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：
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