硅片鼓泡清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种硅片鼓泡清洗装置，包括清洗槽、托盘、通气管、连接管、止回阀和气泵，所述清洗槽的内壁设有环形凸起，所述托盘安装在所述环形凸起上，所述通气管安装在所述清洗槽的底部，所述通气管绕成螺旋形，所述通气管的表面开设有通气孔，所述通气管的一端密封且另一端连接所述连接管，所述连接管连接所述气泵，所述止回阀串接在所述连接管上。本实用新型专利技术硅片鼓泡清洗装置，清洗效果好且效率高，减少了清洗时间，节约了水的使用量，且在清洗过程中能防止杂质进入。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种硅片鼓泡清洗装置，其特征在于：包括清洗槽（1）、托盘（2）、通气管（5）、连接管（7）、止回阀（8）和气泵（10），所述清洗槽（1）的内壁设有环形凸起（3），所述托盘（2）安装在所述环形凸起（3）上，所述通气管（5）安装在所述清洗槽（1）的底部，所述通气管（5）绕成螺旋形，所述通气管（5）的表面开设有通气孔（6），所述通气管（5）的一端密封且另一端连接所述连接管（7），所述连接管（7）连接所述气泵（10），所述止回阀（8）串接在所述连接管（7）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王帅，李立宏，段盟盟，朱玲，
申请(专利权)人：浙江金乐太阳能科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：