一种基板卡匣装置制造方法及图纸

技术编号:9333743 阅读:160 留言:0更新日期:2013-11-13 12:45
一种基板卡匣装置,用于装载基板的卡匣框架以及用于翻转所述卡匣框架的框架翻转机构;所述卡匣框架包括基板置入口;且在所述卡匣框架内设有多个用于固定并承载基板的基板固定机构;所述框架翻转机构与所述卡匣框架固定连接,用于实现所述卡匣框架内的基板多角度翻转。本发明专利技术基板卡匣装置在玻璃基板加热过程中,通过玻璃基板多角度的翻转可有效提高基板各部分的受热均匀度,并克服现有基板静止加热过程中,基于重力的作用基板表面形成凹陷的缺陷,从而提高基板的平整性与尺寸精度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基板卡匣装置,其特征在于,包括:用于装载基板的卡匣框架以及用于翻转所述卡匣框架的框架翻转机构;所述卡匣框架包括基板置入口;且在所述卡匣框架内设有多个用于固定并承载基板的基板固定机构;所述框架翻转机构与所述卡匣框架固定连接,用于实现所述卡匣框架内的基板翻转。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄信伟黄翰弘
申请(专利权)人:杜邦太阳能有限公司
类型:发明
国别省市:

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