【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板卡匣装置,其特征在于,包括:用于装载基板的卡匣框架以及用于翻转所述卡匣框架的框架翻转机构;所述卡匣框架包括基板置入口;且在所述卡匣框架内设有多个用于固定并承载基板的基板固定机构;所述框架翻转机构与所述卡匣框架固定连接,用于实现所述卡匣框架内的基板翻转。
【技术特征摘要】
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