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一种基板卡匣装置制造方法及图纸
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下载一种基板卡匣装置的技术资料
文档序号:9333743
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一种基板卡匣装置,用于装载基板的卡匣框架以及用于翻转所述卡匣框架的框架翻转机构;所述卡匣框架包括基板置入口;且在所述卡匣框架内设有多个用于固定并承载基板的基板固定机构;所述框架翻转机构与所述卡匣框架固定连接,用于实现所述卡匣框架内的基板多角...
该专利属于杜邦太阳能有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杜邦太阳能有限公司授权不得商用。
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