卡匣翻转机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种卡匣翻转机构，包含：一固定座；一旋转座，通过一第一旋转单元与所述固定座可旋转地连接；以及一翻转平台，用于承载一卡匣，并且通过一第二旋转单元与所述旋转座可旋转地连接。所述旋转座沿着所述第一旋转单元的一第一旋转轴向相对所述固定座旋转，以及所述翻转平台沿着所述第二旋转单元的一第二旋转轴向相对所述旋转座旋转。所述第一旋转轴向垂直于所述第二旋转轴向。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种翻转机构，特别是涉及一种能翻转与旋转卡匣的放置方向的翻转机构。
技术介绍
在目前的半导体或者是面板制造厂中，大多使用卡匣来装载基板。一般的卡匣具有一个用于取出或置入基板的进出口，并且卡匣在生产线中通常是以将基板保持在一水平状态移动，即卡匣的进出口朝向一侧边，使得基板的主表面与地平面平行。然而，在不同的工艺步骤中，部分的工艺机台对于基板的置入方向会有特殊的要求，例如必须将基板以直立的方向放入所述工艺机台中，或者是必须将基板旋转一角度后才可与所述工艺机台要求的工艺方向匹配。在现今的生产线中，为了将基板旋转一角度，通常是在卡匣的基板进出口与工艺机台的基板输入口之间架设一基板传输轨道，且所述轨道上设置有一旋转平台，用于将基板旋转一特定角度。举例来说，当基板为一矩形的玻璃基板且所述特定角度为90度时，所述玻璃基板从卡匣取出后在基板传输轨道上是以第一侧边为前端向前传送，并且通过所述旋转平台旋转90度后，改由以第二侧边为前端向前传送进入工艺机台的基板输入口。另外，为了要将基板从平行的方向翻转为直立的方向，通常是采用在工艺机台的基板输入口之前架设一可多轴旋转的机械手臂，以将基板从平行的方向翻转为直立的方向。然而，由于生产线中的空间有限，不论是架设具有所述旋转平台的所述基板传输轨道或者是所述可多轴旋转的机械手臂皆需要占用一定的空间，进而增加了生产线的建造成本。有鉴于此，有必要提出一种卡匣翻转机构，用以解决现有技术中存在的问题。
技术实现思路
为解决上述现有技术的问题，本技术的目的在于提供一种卡匣翻转机构，具有第一旋转单元和第二旋转单元，并且通过所述第一旋转单元可将放置于所述卡匣翻转机构上的卡匣旋转一特定角度，以及通过所述第二旋转单元可将所述卡匣从水平状态翻转为垂直状态。更明确地说，所述卡匣初始是以水平状态放置在所述卡匣翻转机构上，即卡匣中放置的基板的主表面与地平面平行，并且卡匣的基板进出口朝向一第一侧(例如右侧)。在通过所述第一旋转单元旋转后，所述卡匣的基板进出口会相对应地旋转一特定角度。举例来说，当旋转的所述特定角度为90度时，所述卡匣的基板进出口会从朝向所述右侧的方向旋转为朝向前侧或后侧的方向。再者，在通过所述第二旋转单元旋转后，所述卡匣的基板进出口从朝向侧边的方向翻转为朝向上方的方向。可以理解的是，所述第一旋转单元和所述第二旋转单元之间无特定的前后作动顺序，故两者的作动顺序可以调换。因此，通过本技术的所述卡匣翻转机构可同时达到将放置于所述卡匣翻转机构上的卡匣从水平状态翻转为垂直状态以及旋转一特定角度的功效。为达成上述目的，本技术提供一种卡匣翻转机构，用于翻转一卡匣至一所须的角度，所述卡匣用于承载半导体基板及玻璃基板中的至少一者，包含：一固定座；一旋转座，通过一第一旋转单元与所述固定座可旋转地连接；以及一翻转平台，用于承载所述卡匣，并且通过一第二旋转单元与所述旋转座可旋转地连接，其中所述旋转座沿着所述第一旋转单元的一第一旋转轴向相对所述固定座旋转，以及所述翻转平台沿着所述第二旋转单元的一第二旋转轴向相对所述旋转座旋转，其中所述第一旋转轴向垂直于所述第二旋转轴向。于本技术其中之一优选实施例当中，所述第一旋转单元的所述第一旋转轴向垂直于所述固定座，并且当所述旋转座沿着所述第一旋转轴向相对所述固定座旋转时，所述旋转座保持与所述固定座垂直。于本技术其中之一优选实施例当中，所述翻转平台包括：一台面，用于承载所述卡匣；以及一阻挡壁，围绕在所述台面的周缘，并且所述第二旋转单元连接在所述阻挡壁上。于本技术其中之一优选实施例当中，所述旋转座包含一对侧壁部，所述翻转平台的所述阻挡壁的相对的两端点通过所述第二旋转单元分别与所述对侧壁部可旋转地连接，使得所述翻转平台可旋转至与所述旋转座垂直或平行的位置。于本技术其中之一优选实施例当中，所述对侧壁部的延伸方向与所述第一旋转轴向平行。于本技术其中之一优选实施例当中，所述阻挡壁围绕在所述台面的一部分的周缘，使得所述翻转平台具有一用于让所述卡匣通过的开口侧。于本技术其中之一优选实施例当中，所述翻转平台还包括一设置在所述开口侧的可伸缩的阻挡装置，以及当所述翻转平台位于垂直所述旋转座的位置并且所述卡匣放置在所述翻转平台上时，所述阻挡装置为一伸出状态以阻挡所述卡匣通过所述开口侧离开所述翻转平台。于本技术其中之一优选实施例当中，所述卡匣翻转机构还包含一卡扣装置，设置在所述翻转平台上，具有一可做横向直线往复运动的横移板，且所述横移板的两端分别形成一对倒钩部；以及其中所述卡匣具有一对与所述对倒钩部对应设置的卡槽，并且当所述卡匣放置在所述翻转平台上时，所述横移板朝一第一方向移动，使得所述对倒钩部与所述对卡槽相互扣合。于本技术其中之一优选实施例当中，所述翻转平台的所述台面具有一对开槽和一相对所述台面的底面，以及其中所述卡扣装置连接在所述底面，且所述横移板的所述对倒钩部分别通过对应的所述对开槽从底面所述突伸至所述台面之侧。于本技术其中之一优选实施例当中，所述翻转平台具有一用于让所述卡匣通过的开口侧，并且所述横移板移动的所述第一方向相当于朝向所述翻转平台的所述开口侧移动的方向，以及当所述卡匣放置在所述翻转平台上时，所述卡匣的所述对卡槽的开口方向相反于所述翻转平台的所述开口侧的方向。附图说明图1显示一种根据本技术的优选实施例的卡匣翻转机构及相关的卡匣的立体示意图；图2显示将图1的所述卡匣放置在所述卡匣翻转机构上的示意图；图3显示图2的A部分的放大图；图4显示将图3的卡扣装置与卡匣互相卡扣的作动示意图；图5显示通过图1的所述卡匣翻转机构将卡匣从水平状态翻转至垂直状态的示意图；图6显示通过图1的所述卡匣翻转机构将卡匣旋转一角度的示意图；图7显示将卡匣从所述卡匣翻转机构取出的示意图。具体实施方式为了让本技术的上述及其他目的、特征、优点能更明显易懂，下文将特举本技术优选实施例，并配合附图，作详细说明如下。请参照图1，其显示一种根据本技术的优选实施例的卡匣翻转机构10和相关的卡匣20的立体示意图。所述卡匣翻转机构10包含一固定座100、一旋转座200、一翻转平台300、一第一旋转单元400和一第二旋转单元500。所述旋转座200通过所述第一旋转单元400与所述固定座100可旋转地连接，以及所述翻转平台300通过所述第二旋转单元500与所述旋转座200可旋转地连接，其中所述第一旋转单元400和所述第二旋转单元500皆包含旋转轴承座、装设在旋转轴承座上的旋转轴、以及提供动力使所述旋转轴产生旋转的马达。如图1所示，所述固定座100为一平板结构用于锁固在一稳固的平台，例如一地表面上。所述旋转座200具有一与所述固定座100平行的基座210(参照图6)以及一对侧壁部220。所述对侧壁部220连接在所述基座210两端且与所述基座210垂直。所述第一旋转单元400的旋转轴是设置为与所述固定座100垂直的方向，并且所述第一旋转单元400的旋转轴的两端分别与所述固定座100和所述旋转座200的所述基座210连接，使得所述旋转座200可沿着所述第一旋转单元400的一第一旋转轴向(即Z轴方向)相对所述固定座100旋转。如图1所示，所述翻转平台300包含台本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种卡匣翻转机构，用于翻转一卡匣至一所须的角度，所述卡匣用于承载半导体基板及玻璃基板中的至少一者，其特征在于，所述卡匣翻转机构包含：一固定座；一旋转座，通过一第一旋转单元与所述固定座可旋转地连接；以及一翻转平台，用于承载所述卡匣，并且通过一第二旋转单元与所述旋转座可旋转地连接，其中所述旋转座沿着所述第一旋转单元的一第一旋转轴向相对所述固定座旋转，以及所述翻转平台沿着所述第二旋转单元的一第二旋转轴向相对所述旋转座旋转，其中所述第一旋转轴向垂直于所述第二旋转轴向。

【技术特征摘要】
1.一种卡匣翻转机构，用于翻转一卡匣至一所须的角度，所述卡匣用于承载半导体基板及玻璃基板中的至少一者，其特征在于，所述卡匣翻转机构包含：一固定座；一旋转座，通过一第一旋转单元与所述固定座可旋转地连接；以及一翻转平台，用于承载所述卡匣，并且通过一第二旋转单元与所述旋转座可旋转地连接，其中所述旋转座沿着所述第一旋转单元的一第一旋转轴向相对所述固定座旋转，以及所述翻转平台沿着所述第二旋转单元的一第二旋转轴向相对所述旋转座旋转，其中所述第一旋转轴向垂直于所述第二旋转轴向。2.如权利要求1所述的卡匣翻转机构，其特征在于，所述第一旋转单元的所述第一旋转轴向垂直于所述固定座，并且当所述旋转座沿着所述第一旋转轴向相对所述固定座旋转时，所述旋转座保持与所述固定座垂直。3.如权利要求1所述的卡匣翻转机构，其特征在于，所述翻转平台包括：一台面，用于承载所述卡匣；以及一阻挡壁，围绕在所述台面的周缘，并且所述第二旋转单元连接在所述阻挡壁上。4.如权利要求3所述的卡匣翻转机构，其特征在于，所述旋转座包含一对侧壁部，所述翻转平台的所述阻挡壁的相对的两端点通过所述第二旋转单元分别与所述一对侧壁部可旋转地连接，使得所述翻转平台可旋转至与所述旋转座垂直或平行的位置。5.如权利要求4所述的卡匣翻转机构，其特征在于，所述一对侧壁部的延伸方向与所述第一旋转轴向平行。6.如权利要求3所述的卡匣翻转机构，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢耀贤，王铭志，
申请(专利权)人：弘塑科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71