一种卡匣制造技术

一种卡匣，用于承载板状工件，所述卡匣包括两个侧板、顶板、底杆，所述两个侧板竖向相对设置，所述顶板和底杆分别横向固定连接于所述两个侧板的上端和下端，所述两个侧板的内侧均设置有多个对应的用于容纳板状工件的卡槽,其特征在于：所述侧板的后端固定连接吸附板，以吸附所述板状工件，所述吸附板竖向且垂直于所述侧板；所述卡槽内设置弹性卡片，以固定所述板状工件。卡匣后端的吸附板可防止其内的板状工件前后移动，卡槽内的弹性卡片可防止板状工件左右移动，从而使板状工件稳固置于卡匣内。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体加工设备领域，尤其涉及一种稳定固定板状工件的卡匣。
技术介绍
半导体芯片制程通常包括前道制程和后道制程，前道制程包括黄光、化学、薄膜、蒸镀等，而后道制程包括研磨、划裂、测试、分选等。后道制程中常需将完整的芯片或划裂后形成的芯粒粘附于蓝膜或白膜上，蓝膜或白膜卡夹在扩张环内并且将扩张环置于铁环内，以固定芯片或芯粒。为了便于机台作业和转移铁环，通常将多个铁环置于一个卡匣内，再将卡匣置于机台上，以进行后续的作业步骤。而置于机台上的卡匣，常因机台作业时的震动导致铁环在卡匣内发生前后或左右移动，进而导致机台的抓取装置无法精准抓取铁环，影响生产效率。
技术实现思路
为解决以上不足，本技术提供一种卡匣，用于承载板状工件，所述卡匣包括两个侧板、顶板、底杆，所述两个侧板竖向相对设置，所述顶板和底杆分别横向固定连接于所述两个侧板的上端和下端，所述两个侧板的内侧均设置有多个对应的用于容纳板状工件的卡槽，其中，所述侧板的后端固定连接吸附板，以吸附所述板状工件，所述吸附板竖向且垂直于所述侧板；所述卡槽内设置弹性卡片，以固定所述板状工件。优选的，所述吸附板包括挡板和位于所述挡板内部的磁条。优选的，所述吸附板包括挡板和位于所述挡板表面的磁条。优选的，所述吸附板为具有磁性的磁板。优选的，所述弹性卡片呈“ > ”型且开口朝向所述卡槽底部。优选的，所述一个侧板的卡槽内设置弹性卡片，或者所述两个侧板的卡槽内均设置弹性卡片。优选的，所述底杆的数目N ^ 1，当所述底杆的数目N > I时，所述多个底杆平行排列于同一水平面。优选的，所述卡槽宽度大于所述板状工件的厚度，使所述板状工件插入所述卡槽内。优选的，所述顶板上表面呈凹槽状，所述顶板中心位置具有两个横向且平行的固定条，以及与所述固定条连接的两个活动的手柄。优选的，所述板状工件包括芯片制程中承载芯片或芯粒的铁环。本技术至少具有以下有益效果:通过在卡匣的后端设置吸附板状工件的吸附板，防止板状工件在卡匣内前后移动；通过在卡匣的卡槽内设置弹性卡片，防止板状工件在卡匣内左右移动。【附图说明】图1为本技术之实施例之置有铁环的卡匣主视示意图。图2为本技术之实施例之置有铁环的卡匣俯视示意图。图3为本技术之实施例之图1中卡匣A-A方向横切俯视图。附图标注:10、侧板；11、卡槽；20、顶板；21、固定条；22、手柄；30、底杆；40、吸附板-AUtm ;42、磁条；50、弹性卡片;60、铁环。【具体实施方式】下面将结合示意图对本技术进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术，而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。参看附图1，一种卡匣，用于承载板状工件，其包括两个侧板10、一顶板20、一个或多个底杆30、两个吸附板40、多个弹性卡片50，板状工件包括承载芯片或芯粒的铁环60。其中，两个侧板10竖向相对设置，顶板20和底杆30分别横向固定连接于两个侧板10的上端和下端。两个侧板10的内侧自上而下均设置有多个对应的用于容纳铁环60的卡槽11。卡槽11的宽度大于铁环60的厚度，使铁环60可插入卡槽11内。弹性卡片50位于卡槽11内，一个侧板10的卡槽11内设置弹性卡片50，或者两个侧板10的卡槽11内均设置弹性卡片50，若在两个侧板10的卡槽11内均设置弹性卡片50，当铁环60从卡匣中取出时，需较大的力度，因此本实施例优选在I个侧板10的卡槽11内设置弹性卡片50。参看附图2，两个侧板10的后端分别固定连接有一吸附铁环60的吸附板40，吸附板40竖向且垂直于侧板10，其通过从卡匣的后端吸附铁环60，以防止铁环60在卡匣内前后移动。吸附板40包括挡板41和磁条42，磁条42可以位于挡板41的内部，也可粘附于挡板41的表面，本实施例优选磁条42粘附于挡板41朝向铁环60—侧的表面；或者吸附板40本身即为具有磁性的磁板。分别连接于两个侧板10的两个吸附板40之间具有一定的间距，便于操作人员从卡匣后方观察铁环60插入和被取出卡匣时的动作。顶板20上表面呈凹槽状，其中心位置具有两个横向且平行的固定条21，以及与固定条21连接的两个活动的手柄22，便于移动卡匣，当需转移卡匣时，操作人员可手动从凹槽状的顶板20上抓取两个活动的手柄22转移卡匣，当卡匣处于静止状态时，手柄22横向放置于凹槽状的顶板20上，以避免手柄22对芯片分选、划裂等生产机台操作时的影响。参看附图3，底杆30的数目N 3 1，当底杆30数目N > I时，多个底杆30平行排列于同一水平面，以从卡匣的下端固定侧板10，本实施例以2个底杆30示意说明。弹性卡片50呈“O”型且开口朝向卡槽11底部，当铁环60 (附图3中未示出)插入卡槽11内时，弹性卡片50被挤压，挤压的反作用力卡紧铁环60，防止其在卡匣内左右移动；当铁环60被取出时，弹性卡片50开口恢复原状。应当理解的是，上述具体实施方案为本技术的优选实施例，本技术的范围不限于该实施例，凡依本技术所做的任何变更，皆属本技术的保护范围之内。【主权项】1.一种卡匣，用于承载板状工件，所述卡匣包括两个侧板、顶板、底杆，所述两个侧板竖向相对设置，所述顶板和底杆分别横向固定连接于所述两个侧板的上端和下端，所述两个侧板的内侧均设置有多个对应的用于容纳板状工件的卡槽，其特征在于:所述侧板的后端固定连接吸附板，以吸附所述板状工件，所述吸附板竖向且垂直于所述侧板；所述卡槽内设置弹性卡片，以固定所述板状工件。2.根据权利要求1所述的一种卡匣，其特征在于:所述吸附板包括挡板和位于所述挡板内部的磁条。3.根据权利要求1所述的一种卡匣，其特征在于:所述吸附板包括挡板和位于所述挡板表面的磁条。4.根据权利要求1所述的一种卡匣，其特征在于:所述吸附板为具有磁性的磁板。5.根据权利要求1所述的一种卡匣，其特征在于:所述弹性卡片呈“>”型且开口朝向所述卡槽底部。6.根据权利要求1所述的一种卡匣，其特征在于:所述一个侧板的卡槽内设置弹性卡片，或者所述两个侧板的卡槽内均设置弹性卡片。7.根据权利要求1所述的一种卡匣，其特征在于:所述底杆的数目N3 1，当所述底杆的数目N > I时，所述多个底杆平行排列于同一水平面。8.根据权利要求1所述的一种卡匣，其特征在于:所述卡槽的宽度大于所述板状工件的厚度，使所述板状工件插入所述卡槽内。9.根据权利要求1所述的一种卡匣，其特征在于:所述顶板上表面呈凹槽状，所述顶板中心位置具有两个横向且平行的固定条，以及与所述固定条连接的两个活动的手柄。10.根据权利要求1所述的一种卡匣，其特征在于:所述板状工件包括芯片制程中承载芯片或芯粒的铁环。【专利摘要】一种卡匣，用于承载板状工件，所述卡匣包括两个侧板、顶板、底杆，所述两个侧板竖向相对设置，所述顶板和底杆分别横向固定连接于所述两个侧板的上端和下端，所述两个侧板的内侧均设置有多个对应的用于容纳板状工件的卡槽,其特征在于：所述侧板的后端固定连接吸附板，以吸附所述板状工件，所述吸附板竖向且垂直于所述侧板；所述卡槽内设置弹性卡片，以固定所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种卡匣，用于承载板状工件，所述卡匣包括两个侧板、顶板、底杆，所述两个侧板竖向相对设置，所述顶板和底杆分别横向固定连接于所述两个侧板的上端和下端，所述两个侧板的内侧均设置有多个对应的用于容纳板状工件的卡槽，其特征在于：所述侧板的后端固定连接吸附板，以吸附所述板状工件，所述吸附板竖向且垂直于所述侧板；所述卡槽内设置弹性卡片，以固定所述板状工件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李俊，张虎，彭家彦，郑为井，余学志，邱树添，张家宏，
申请(专利权)人：安徽三安光电有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34