【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及收纳基板的卡匣,特别是涉及收纳在液晶面板的制造方法中使用的玻璃基板的卡匣。此外,本申请要求基于2009年5月20日提出申请的日本专利申请2009-121559 号的优先权,该申请的全部内容被引入到本说明书中作为参照。
技术介绍
作为液晶显示装置的构成部件的液晶面板具有使一对玻璃基板在确保规定空隙的状态下相对的结构。伴随着液晶面板的大型化、量产化,液晶面板用的玻璃基板逐年大型化。在搬运这样的第二代大型液晶玻璃基板的基板搬运系统中,使用收纳多层液晶玻璃基板的收纳卡匣(例如,专利文献1 3等)。收纳玻璃基板的收纳卡匣使用于如下情况在净化间内的制造工序中从液晶面板制造装置的载置部向别的制造装置的载置部搬运或者保管玻璃基板。另外,收纳卡匣也使用于如下情况在液晶面板制造装置的载置部与卡匣保管库的保管部之间搬运/保管玻璃基板。净化间内的气氛中,确保了充分的空气清洁度,但有时在搬运/保管收纳卡匣时从作业者、地板面等飞散的灰尘等异物附着于基板表面,或者处理基板时的有机气体等的雾在净化间内漂浮而附着于基板表面。并且,在异物、雾附着的状态下对基板进行工艺处理时,液晶面板 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:松山章男,有光资,岛田浩幸,凑贵行,
申请(专利权)人:夏普株式会社,淀川惠德株式会社,
类型:发明
国别省市:
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