对基板进行烤焙处理的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种对基板进行烤焙处理的装置，包括支撑平台、多个支撑针、加热单元及绝热层。所述支撑平台具有一支撑面及一底面。所述多个支撑针设置于所述支撑平台中，所述多个支撑针可移动地伸出于所述支撑面，用于顶起所述基板。所述加热单元用于对所述基板进行加热。所述绝热层对应所述支撑平台的所述底面设置，用于防止所述加热单元对所述支撑平台加热。本发明专利技术还公开了一种对基板进行烤焙处理的方法，其能有效防止基板在烤焙处理中出现斑点缺陷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种液晶显示器的
，特别涉及一种。
技术介绍
传统的液晶基板的生产制造过程中需要对玻璃基板上的PI(Polyimide，聚酰亚胺)液进行预烤焙(Prebake)，烤焙的方式是利用红外线辐射玻璃基板，将玻璃基板加热到90摄氏度，使PI液中的溶剂蒸发，提高PI的浓度。在上述烤焙的过程中，一般会使用支撑针来支撑玻璃基板，但是由于支撑针的材质不是完全绝热的，因此玻璃基板上的接触区域(玻璃基板上与支撑构件接触的区域)与非接触区域(玻璃基板上没有与支撑构件接触的区域)存在导热速率的差别，使得玻璃基板受热不均，造成玻璃基板上出现斑点(Mura)缺 陷，降低了玻璃基板的良率。为了防止玻璃基板上出现斑点，现有技术上有两种解决方案一是采用绝热性能更好的材料来作为支撑针的材料，以减少玻璃基板上和支撑针接触的区域与其它区域的温度差；二是改良支撑针的支撑方式，例如通过控制多个支撑针轮流(交替)支撑玻璃基板来减少支撑针与玻璃基板在同一个地方接触的时间，即首先使用一些支撑针支撑玻璃基板，在预定时间过后使用另一些支撑针支撑玻璃基板。上述这两种解决方案都不能有效地防止玻璃基板上出现斑点，原因是一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对基板进行烤焙处理的装置，其特征在于，包括：支撑平台，具有一支撑面及一底面；多个支撑针，设置于所述支撑平台中，所述多个支撑针可移动地伸出于所述支撑面，用于顶起所述基板；加热单元，用于对所述基板进行加热；以及绝热层，对应所述支撑平台的所述底面设置，用于防止所述加热单元对所述支撑平台加热。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱美娜，戴裔，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：