用于湿法化学工艺的设备制造技术

本实用新型专利技术涉及用于湿法化学工艺的设备，其用于借助处理液在形成从处理液中逸出的气态物质的情况下对衬底进行湿法化学处理。更准确地，本实用新型专利技术涉及可替换的处理池。用于借助处理液在形成从处理液中流出的气态物质的情况下对衬底进行湿法化学处理的设备包括：构成为双层壁的并可替换的处理池，其外壁和内壁在形成中间腔的情况下彼此隔开；设置在处理池之下的容器以容纳从处理池中流出的气态物质和/或处理液，其能够通过中间腔排出到用于容纳的容器中；和设置在处理池的外壁和用于容纳的容器之间的过渡区域中的密封部以相对于周围环境屏蔽气态物质和/或处理液，其中密封部是基于液体的密封部，通过在过渡区域中提供液体收集容积部构成所述密封部。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
用于湿法化学工艺的设备，其设置用于借助处理液（F）在形成从所述处理液（F）中逸出的气态物质（G）的情况下对衬底进行湿法化学处理，所述用于湿法化学工艺的设备包括：构成为双层壁的并且能够替换的处理池（1），所述处理池的外壁（2）和内壁（3）在构成中间腔（4）的情况下彼此隔开；和设置在所述处理池（1）之下的用于容纳的容器（5），其用于容纳从所述处理池（1）流出的气态物质（G）和/或处理液（F），所述流出的气态物质（G）和/或处理液（F）能够通过中间腔（4）排出到所述用于容纳的容器（5）中；以及设置在所述处理池（1）的所述外壁（2）和所述用于容纳的容器（5）之间的过渡区域中的密封部（9），以相对于周围环境（U）屏蔽所述气态物质（G）和/或处理液（F），其中所述密封部（9）是基于液体的密封部，通过在所述过渡区域中提供液体收集容积部（F1；F2）实现构成所述密封部（9）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：约尔格·弗兰茨克，马蒂亚斯·尼泽，于尔根·施韦希肯迪克，
申请(专利权)人：睿纳有限责任公司，
类型：实用新型
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