用以调整平面物品的方法技术

一种对从块状材料锯开而得到的硅衬底进行调整的方法，其中衬底的一个边缘被固定在板状固定装置上，形成梳子状构造物，该方法通过常规的冲洗、分开及湿化学处理对硅衬底进行调整，此种处理是通过蚀刻或结构化改良衬底表面，而且是在将被锯开的衬底从固定装置分开之前进行。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术涉及一种用以调整如硅衬底之类的平面物品的方法。以常规的冲洗、分开及湿化学处理对从块状材料锯开且一个边缘被固定在板状固定装置上形成梳子状构造物的物品进行调整，其中此种调整在将被锯开的平面物品从固定装置分开之前进行。一种适于用来执行该方法的装置，具有两个与装置的纵轴(L)平行且上下相叠的区域，其中上方区域是作为转接区(1)。下方区域是作为保持区(2)构成的，这个区域具有通道(11)，该通道（11）是通道系统的一部分，该通道系统可经由可关闭的供料开口(5)供应处理液且是四周关闭或可关闭的。在锯开衬底块时，通道(11)的底部会以细缝形式打开以形成通道开口(15)让处理液通过，通道(11)沿着装置的纵轴(L)被分成多个区段(11A、11B)。【专利说明】
本专利技术涉及一种用以调整(Konditionieren)平面物品的方法。本专利技术尤其涉及一种平面物品为硅衬底、并且调整是指对已被从锭块锯下但尚未分开的这些衬底进行处理的方法。
技术介绍
为了使从块(尤其是硅锭块)锯下的平面物品(尤其是硅衬底，以下简称为衬底)能够接受进一步的加工，通常需要将锯开时产生的污染(浆料)从最初就有一个边缘附着在板状固定装置(锯板、承板)上的衬底的间隙中去除。已知多种被用于此目的的装置，例如 DE102006059810、PCT/EP2007/010735 或 PCT/EP2008/010460 提出的装置。这些装置能够在相应的盆中喷淋尚未被分开的衬底堆，其中利用设置于衬底堆侧面的喷淋板条或其他类似装置。DE10220468A1也提出一种类似的清洗装置。以上提及的所有装置及方法都是在衬底被锯开后在独立的清洗装置中进行清洗。德国专利申请DE102010052635提出另外一种解决方案，这种方法是利用设置在承板上的钻孔喷淋衬底，其中钻孔是由设置在承板内的通道供应清洗液。也可以将这个装置设置于晶圆锯的区域，以清洗衬底间隙。DE10225851A1也提出一种类似的解决方案，DE102010022289A1也提出一种类似的装置。机械脆性材料(例如硅)在锯开后特别容易断裂。尤其是已知尖锐的切口会成为脆断的起点。因此在分开后通常会在适当的蚀刻装置中对衬底进行蚀刻处理，这个处理也称为锯伤蚀刻。该处理用于将锯开时形成的尖角或沟槽的凹陷平整化。目前，最常见的方式是以所谓的研磨浆料锯(SlurrysSge)将硅锯开。这种锯子的特征是锯条只是通过在其中含有切割颗粒(例如碳化硅)的液态混合剂产生锯开作用。虽然这种方法会产生明显的锯伤，但仍在可接受的范围内，也就是说在将锯开的衬底分离及随后运送到蚀刻槽的过程中发生断裂的危险性并不会太高。近年来研磨浆料锯已被牢固地附着有切割颗粒的锯线(FASW，固着磨料锯线)取代。例如使用包覆有金刚石的锯线(金刚石锯)。但是这种成本较低的方法造成的锯伤比较严重。因此衬底在锯开后立刻运送时发生断裂的风险也升高。此外，由一连串地设置的组件(锯子，清洗装置，蚀刻槽，根据需要使用的干燥装置及分开装置)构成的典型的处理线占据的空间(尤其是长度)相当大。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种方法，在将衬底锯开后、运送前，利用这种方法对衬底进行调整，使其足以紧接着锯开进行衬底分开及运送而不会有断裂的危险，或至少断裂的危险相比于现有技术并无升高。此外，这种方法还应适于缩小适合执行此种调整的设备所需的空间。采用权利要求1所述的方法即可达到上述目的。本专利技术的各种优选实施方式包括在从属权利要求、以下的说明及附图中。以下将首先详细描述本专利技术的方法。接着再说明特别适合执行本专利技术的方法的装置。在以下的说明中，“衬底”一词指的是“平面物品”。本专利技术的方法用来对从块状材料锯开而制得的易脆断的平面物品(例如硅衬底)进行调整。此处使用的“调整”一词并不排除平面物品还会接受不属于本专利技术范畴的其他处理步骤的可能性。根据本专利技术，平面物品或衬底的一个边缘被固定在板状固定装置上，并形成梳子状的构造物。通常利用粘着剂进行固定，但也可以通过夹住来固定。调整通常包括常规的冲洗/清洗、分开及湿化学处理(以下简称为“处理”)。例如可以用水冲洗，可以利用表面活性剂或酸性溶液进行清洗。“处理”一词是指任何类型的液体处理。“分开”是指将平面物品或衬底与固定装置分离的过程，但也可以是指从梳子状的构造物分离出单独的物品或衬底的过程。根据本专利技术，湿化学处理在将被锯开的物品或衬底与固定装置分离之前进行。在分离及分开衬底前对衬底进行处理可以大幅降低衬底原本的高脆性，从而明显降低衬底在后续的分开过程中受损的风险。通过这种方式，即使是以会造成相当大的锯伤的方法从锭块锯出很薄的衬底，也能够将分开衬底时发生断裂的可能性控制在能够接受的程度。此处所谓的“处理”是指任一种用于改良衬底表面的湿化学处理。尤其是指以表面腐蚀性液体将衬底材料移除的蚀刻或结构化之类湿化学处理，以及对衬底表面进行的掺杂及电化学处理(例如阳极氧化)。优选在处理之后，在将物品或衬底分开之前再执行额外的冲洗或清洗步骤及/或停止湿化学处理的步骤。要结束蚀刻过程，这样的步骤通常是必要的。因此优选在将物品或衬底分开之前也执行这样的步骤。另外更优选的实施方式是将该方法范畴内使用的至少一种液体(例如清洗液、冲洗液或蚀刻液)通过固定装置注入被锯开但尚未分开的衬底的梳子状构造物的间隙。本文后面将详细描述适于执行这个工作的装置。有一点是很明白的，即，这个装置具有相应的开口，液体能够通过这些开口注入梳子状构造物的衬底之间的间隙。特别优选使以上提及的所有液体通过固定装置注入衬底间隙。通过这种方式能够将前面提及的具有良好效果且节省时间的优点与此种装置的特别有效的清洗及蚀刻作用结合在一起。如前面所述，块状材料优选为硅锭块，并将其锯开成硅衬底。但本专利技术并不限于此种材料，在应用于陶瓷、玻璃、或其他易脆断的材料或混合材料的锯开时，亦能展现本专利技术的优点。处理使用的蚀刻液的典型例子包括K0H、Na0H、HF、HN03、H2S04、H3P04或C2H4O2,当然也可以使用其他的蚀刻液及包括水在内的任何冲洗液或清洗液来执行本专利技术。根据另外一种实施方式，(最初的)冲洗及/或处理的步骤在将锭块锯开的锯开装置内进行。通过这种方式可以大幅缩短连续生产线的长度，以及降低衬底在移位过程中受损的风险。此外，由于去除了非必要的移位过程，也达到节省时间的效果。根据优选的实施方式，(最初的)冲洗及/或处理的步骤不是在锯开装置内进行，而是在位于锯开装置之外的分开提供的冲洗或处理装置内进行。使用这样的装置的优点是，锯开装置无需具备抵抗对金属通常亦有腐蚀作用的蚀刻溶液的能力。因为现有锯开装置含有多种可能会与不同的液体接触的金属部件，从而将导致高成本。另外，在锯子内处理锭块所需的时间明显长于已锯开但尚未分开的梳子状构造物停留在独立的蚀刻或清洗装置内的时间。因此只需一个单独且独立的蚀刻或清洗装置即可供多个设置在其上游的锯开装置使用。本案的 申请人:在EP1935514、PCT/EP2007/010735、EP2102896 及 EP08860195 中提出的装置特别适于进行冲洗或清洗过程。根据特别优选的实施方式，(最初的)冲洗及/或处理的步骤是在锯开装置之外的整合了冲洗及处理的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对从块状材料锯开而得到的硅衬底进行调整的方法，其中衬底的一个边缘被固定在板状固定装置上，形成梳子状构造物，该方法通过常规的冲洗、分开及湿化学处理对硅衬底进行调整，此种处理是通过蚀刻或结构化改良衬底表面，而且是在将被锯开的衬底从固定装置分开之前进行。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：延斯·默克，
申请(专利权)人：睿纳有限责任公司，
类型：
国别省市：