一种太阳能离子注入机硅片缓存装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种太阳能离子注入机硅片缓存装置。所述太阳能离子注入机硅片缓存装置包括上料电梯和下料电梯；所述上料电梯和下料电梯均包括安装在固定板上的驱动电缸、装在驱动电缸的导轨上且可相对驱动电缸的导轨竖向运动的滑动板、与该滑动板固定相连的多层多列硅片承载台；其中，某一列的多层硅片承载台竖向布置，某一层的多列硅片承载台近似水平布置。本实用新型专利技术能够满足在上下料传送带连续运动状态下进行取放片动作，同时实现硅片在传送带与机械手之间的中转暂存功能，减少硅片传送带空转时间和机械手的等待时间，提高硅片传输效率。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种太阳能离子注入机硅片缓存装置。所述太阳能离子注入机硅片缓存装置包括上料电梯和下料电梯；所述上料电梯和下料电梯均包括安装在固定板上的驱动电缸、装在驱动电缸的导轨上且可相对驱动电缸的导轨竖向运动的滑动板、与该滑动板固定相连的多层多列硅片承载台；其中，某一列的多层硅片承载台竖向布置，某一层的多列硅片承载台近似水平布置。本技术能够满足在上下料传送带连续运动状态下进行取放片动作，同时实现硅片在传送带与机械手之间的中转暂存功能，减少硅片传送带空转时间和机械手的等待时间，提高硅片传输效率。【专利说明】一种太阳能离子注入机硅片缓存装置
本技术涉及太阳能电池制造自动化设备领域，尤其涉及一种独特的用于太阳能离子注入机硅片缓存装置。
技术介绍
在探索太阳能电池新工艺过程中，人们发现利用离子注入技术取代传统的扩散工艺，其除了提高了太阳能电池的一致性，明显提高太阳能电池的转换效率外，还能消除传统晶硅太阳能电池的多个生产步骤，如硅片边沿刻蚀和二次清洗等。对比于传统晶硅电池制造工艺，引入离子注入工艺后太阳能电池制造商能够以更低的生产成本制造更高转换效率的太阳能电池。因此太阳能离子注入机是发展高效电池片的一种关键装备。为了提高工作效率，太阳能离子注入机要求一次性将多个硅片有规则排列的送入靶台进行注入工艺，因此如何快速从硅片传送带上取片并在机械手上形成工艺所要求的硅片排列，提高硅片的传输效率成为太阳能离子注入机硅片传输系统需要解决的问题。
技术实现思路
针对太阳能离子注入机硅片传输系统的技术需求，本技术提供了一种太阳能离子注入机硅片缓存装置，该缓存装置可满足在上下料传送带连续运动状态下进行取放片动作，同时实现娃片在传送带与机械手之间的中转暂存功能，减少娃片传送带空转时间和机械手的等待时间，从而提闻了娃片传输效率。为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案是:一种太阳能离子注入机硅片缓存装置，其结构特点是，包括上料电梯和下料电梯；所述上料电梯和下料电梯均包括安装在固定板上的驱动电缸、装在驱动电缸的导轨上且可相对驱动电缸的导轨竖向运动的滑动板、与该滑动板固定相连的多层多列硅片承载台；其中，某一列的多层硅片承载台竖向布置，某一层的多列硅片承载台近似水平布置。本技术所述某一层的多列硅片承载台近似水平布置是指某一层的多列硅片承载台不一定绝对水平布置，与水平面呈较小的角度也可以实现技术目的，例如上料电梯某一层的多列硅片承载台可呈阶梯上升，下料电梯某一层的多列硅片承载台可位于同一水平线上。以下为本技术的进一步改进的技术方案:进一步地，所述滑动板上固定连接有竖向布置的竖直板，该竖直板上水平安装有水平布置的上顶板；所述上顶板的下表面固定连接有调节横板，该调节横板下表面固定安装有多块调节竖板，每块调节竖板下端固定安装有两根支撑杆，相邻两块调节竖板下端连接的支撑杆之间具有多层所述硅片承载台。所述竖直支撑架以及支撑杆的位置是可以调节的，由此能够用于贮存规格为156 X 156mm或125 X 125mm的太阳能硅片。为了保证硅片在硅片承载台上稳定地上下传输，单层单列的所述硅片承载台包括四个承载薄板，在承载薄板上装有限制硅片边角的两边位置的限位块。在上料电梯内，每一层的所述硅片承载台成阶梯状，每一层相邻两个硅片承载台之间的距离相等，且上一层硅片承载台的最后一列与下一层硅片承载台的第一列之间的距离与阶梯的距离相等。由此，所述上料电梯的每一层硅片承载台成阶梯状，每个阶梯之间的距离相等，且上一层硅片承载台的最后一列与下一层硅片承载台的第一列之间的距离与阶梯的距离相等；阶梯的距离依据电缸与硅片传送带的速度确定。为了便于实现同时取片和放片，在下料电梯内，每一层的硅片承载台均优选位于同一水平位置。为了保证连接强度，所述竖直板与上顶板之间连接有筋板。根据本技术的实施例，所述娃片为规格156X 156mm或125X 125mm的太阳能娃片。进一步地，所述下料电梯的最上一层硅片承载台一侧设有取片机械手，该下料电梯的最下一层硅片承载台一侧设有下料传送带；所述上料电梯的最下一层硅片承载台一侧设有上料传送带，可以保证硅片的进料、缓存和取料的连续性。藉由上述结构，所述太阳能离子注入机硅片缓存装置，包括上料电梯与下料电梯各一部。所述上料电梯包括沿着竖直方向的驱动电缸、电缸的安装固定板、在电缸导轨上运动的滑动板、与滑动板固定安装的竖直板、水平安装在竖直板上的上顶板、设置在上顶板与竖直板之间的两个三角形筋板、与上顶板下表面贴装在一起的调节横板、安装在调节横板下表面的四个竖直支撑架。其中所述竖直支撑架包括竖板、安装在竖板上的两个支撑杆、连接在支撑杆上的四层硅片承载薄板、及承载薄板上的两个限位块。所述四个竖直支撑架构成了四层三列的硅片承载台，每层可以承载三片硅片。每片硅片的硅片承载台其特征在于由四个承载薄板构成，硅片存放采取托起硅片四个边角的方式。承载薄板上的两个限位块用于限制硅片边角的两边位置。所述下料电梯与上料电梯相比，除了承载薄板的位置不同使每层硅片承载台位于同一水平位置以外，其他的结构一样。所述上、下料电梯硅片承载台的层数与列数仅作为一实例，不作为数量限定，可以根据情况改变。由此，上料电梯从上料传送带上取片，作为缓存区，然后向机械手上放片；下料电梯从机械手上取片，作为缓存区，然后向下料传送带上放片。上、下料电梯作为独立的单元，互不干涉。与现有技术相比，本技术的有益效果是:1、上、下料电梯为独立的单元，互不干涉可同时进行作业，提高了硅片的传输效率。2、根据硅片上下料的特点，上、下料电梯硅片承载台的结构不同。其中上料电梯硅片承载台采用阶梯状设计，能实现在传送带连续运动时取片，省去了硅片的传送定位时间，从而减少了硅片的取片时间；3、通过与机械手动作的配合，能使多个硅片在机械手上按照离子注入工艺要求的整齐排列，避免了硅片位置的再调整。4、上、下料电梯硅片承载台的长宽度可以调节，适用于常用规格的硅片存放。总之，本技术能够满足在上下料传送带连续运动状态下进行取放片动作，同时实现硅片在传送带与机械手之间的中转暂存功能，减少硅片传送带空转时间和机械手的等待时间，提闻娃片传输效率。以下结合附图和实施例对本技术作进一步阐述。【专利附图】【附图说明】图1为本技术所述上料电梯的结构示意图；图2为图1的前视图；图3为上料电梯调节横板的结构示意图；图4为上料电梯调节竖板的结构示意图；图5为本技术下料电梯的结构示意图；图6为图5的前视图；图7为本技术一种实施例的结构原理图。【具体实施方式】为了使本技术的技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅用于解释本技术，并不用于限定本技术。图1为太阳能离子注入机硅片缓存装置上料电梯的结构示意图。如图1所示，按照本技术的上料电梯100包括安装在固定板101上的沿着竖直方向的电缸102、在电缸102导轨上运动的滑动板103、竖直板104、上顶板105、两个三角形筋板106、与上顶板105下表面贴装在一起的调节横板107、四个调节竖板108、八个支撑杆109、四十八个承载薄板110以及每个承载本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能离子注入机硅片缓存装置，其特征在于，包括上料电梯（100）和下料电梯（200）；所述上料电梯（100）和下料电梯（200）均包括安装在固定板（101）上的驱动电缸（102）、装在驱动电缸（102）的导轨上且可相对驱动电缸（102）的导轨竖向运动的滑动板（103）、与该滑动板（103）固定相连的多层多列硅片承载台；其中，某一列的多层硅片承载台竖向布置，某一层的多列硅片承载台近似水平布置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡凡，袁卫华，易文杰，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：新型
国别省市：湖南;43