一种外延设备用机械手负压传导装置制造方法及图纸

本技术公开了一种外延设备用机械手负压传导装置，包括：进气组件、钢管组件、衬套和进气套筒；进气组件由钢管组件底部竖直插入钢管组件内，两者进行间隙配合，进气组件与钢管组件之间设有衬套，以实现进气组件与钢管组件定位；进气组件与真空手指相连，并跟随真空手指自由回转，钢管组件与负压装置相连，以实现负压传递；进气套筒密封设置在钢管组件顶部，进气组件和衬套均位于进气套筒内侧，进气套筒用于防止粉尘进入机械手负压传导装置内。本技术具有结构简单、装调方便、成本低廉且能够满足腔体密封以及机械手运动需求等优点，解决了现有外延设备真空机械手在采取上方吸附取片方式时负压装置与真空机械手指之间的连接传导问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于外延反应设备，具体涉及一种外延设备用机械手负压传导装置。

技术介绍

1、对于现有主流腔体类外延设备而言，晶圆在缓存室与反应腔之间传输基本上依靠机械手实现。机械手取片形式大致可分为两类，一类是手指从下方对晶圆进行托举；另一类则是从上方对晶圆进行吸附。特别是对于上方吸附形式而言，需在手指上产生负压。大气机械手本体一般自带负压产生装置，仅需提供压空即可。但在腔体类外延设备中，实现晶圆在缓存室与反应腔之间传输的机器手基本为真空机械手，由于真空机械手密封等特性，负压装置一般外置，如何实现负压在满足腔体密封以及机械手运动的情况下朝机械手指上传导也是外延设备需要解决的问题。

技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是克服现有外延设备真空机械手在采取上方吸附取片方式时负压装置与真空机械手指之间的连接传导问题，提供一种结构简单、装调方便、成本低廉且能够满足腔体密封以及机械手运动需求的外延设备用机械手负压传导装置。

2、为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：

3、一种外延设备用机械手负压传本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种外延设备用机械手负压传导装置，其特征在于，包括：进气组件(1)、钢管组件(2)、衬套(4)和进气套筒(5)；所述进气组件(1)由钢管组件(2)底部竖直插入钢管组件(2)内，进气组件(1)与钢管组件(2)进行间隙配合，进气组件(1)上部与钢管组件(2)上部之间设有衬套(4)，以实现进气组件(1)与钢管组件(2)定位；所述进气组件(1)的出气端与真空手指相连，进气组件(1)跟随真空手指自由回转，所述钢管组件(2)的进气端与负压装置相连，以实现负压传递；所述进气套筒(5)密封设置在钢管组件(2)顶部，所述进气组件(1)和衬套(4)均位于进气套筒(5)内侧，所述进气套筒(5)用于防止粉尘...

【技术特征摘要】

1.一种外延设备用机械手负压传导装置，其特征在于，包括：进气组件(1)、钢管组件(2)、衬套(4)和进气套筒(5)；所述进气组件(1)由钢管组件(2)底部竖直插入钢管组件(2)内，进气组件(1)与钢管组件(2)进行间隙配合，进气组件(1)上部与钢管组件(2)上部之间设有衬套(4)，以实现进气组件(1)与钢管组件(2)定位；所述进气组件(1)的出气端与真空手指相连，进气组件(1)跟随真空手指自由回转，所述钢管组件(2)的进气端与负压装置相连，以实现负压传递；所述进气套筒(5)密封设置在钢管组件(2)顶部，所述进气组件(1)和衬套(4)均位于进气套筒(5)内侧，所述进气套筒(5)用于防止粉尘进入机械手负压传导装置内。

2.根据权利要求1所述的外延设备用机械手负压传导装置，其特征在于，所述进气组件(1)包括相互垂直设置的出气管(11)和进气管(12)；所述进气管(12)竖直插入钢管组件(2)内，所述出气管(11)通过软管与真空手指相连。

3.根据权利要求2所述的外延设备用机械手负压传导装置，其特征在于，所述进气管(12)顶部设有卡槽(13)，所述卡槽(13)用于安装卡...

【专利技术属性】
技术研发人员：万胜强，刘柱，石磊，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：新型
国别省市：