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本技术公开了一种外延设备用机械手负压传导装置，包括：进气组件、钢管组件、衬套和进气套筒；进气组件由钢管组件底部竖直插入钢管组件内，两者进行间隙配合，进气组件与钢管组件之间设有衬套，以实现进气组件与钢管组件定位；进气组件与真空手指相连，并跟随...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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