The production method of the invention provides a wet etching method of silicon wafer and solar battery, which comprises the following steps: 1) rinse all surfaces using a mixed solution of hydrofluoric acid and nitric acid on the silicon wafer after the diffusion system; 2) using deionized water to step 1) each surface of the silicon wafer processed; 3) step 2) the wafer surface drying; 4) using a mixed solution of hydrofluoric acid, nitric acid and sulfuric acid on the step 3) from the side and back etching of silicon wafer. Rinse all surfaces using mixed solution of hydrofluoric acid and nitric acid on the silicon wafer after diffusion for the hydrophilic silicon, phosphorus or boron silicon glass in HF rich mixed solution of hydrofluoric acid and nitric acid was rapidly etched, the silicon wafer has around water repellency, then the wet etching on the silicon wafer with the mixed solution of hydrofluoric acid, nitric acid and sulfuric acid, will not form etching marks on the silicon wafer around, so as to improve the efficiency and yield rate.
【技术实现步骤摘要】
硅片的湿法刻蚀方法及太阳能电池的生产方法
本专利技术属于太阳能光电利用领域,特别涉及一种硅片的湿法刻蚀方法及太阳能电池的生产方法。
技术介绍
太阳能是人类取之不尽用之不竭的可再生能源.也是清洁能源,不产生任何的环境污染。在太阳能的有效利用当中,大阳能光电利用是近些年来发展最快,最具活力的研究领域,是其中最受瞩目的项目之一。为此,人们研制和开发了太阳能电池。太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化为电能的装置。现阶段以广电效应工作的薄膜式太阳能电池为主流,其原理为太阳光照在半导体PN结上,形成新的空穴-电子对,在PN结电场的作用下,光生空穴由N区流向P区,光电子由P区流向N区,接通电路后形成电流。由于各国对环境的保护和对再生清洁能源的巨大需求,太阳能电池为人类未来大规模利用太阳能开辟了广阔的前景。根据材料的不同,太阳能电池可以分为硅太阳能电池、多元化合物薄膜太阳能电池、聚合物多层修饰电极型太阳能电池、纳米太阳能电池及有机太阳能电池等,其中硅太阳能电池是目前发展最成熟的太阳能电池,在应用中居主导地位。制造硅太阳能电池的一般方法是:首先将表面干净的P型或者N型硅片首先经过制绒工序形成绒面结构;其次在硅片表面扩散制结,形成N+或者P+的发射极,经过湿法刻蚀去掉硅片侧面和背面的扩散层;然后在其正表面再形成一层具有减反射功能的SiN薄膜;最后在硅片正背面分别制作金属电极,经过烧结过程形成晶硅太阳能电池。其中,扩散制结时产生杂质磷或硼,磷或硼会不可避免的扩散至硅片侧面和背面,最终导致短路。因此,必须对太阳能电池硅片侧面和背面的掺杂硅进行刻蚀,以去除硅片侧面和 ...
【技术保护点】
一种硅片的湿法刻蚀方法,其特征在于,包括以下步骤:1)使用氢氟酸和硝酸的混合溶液对扩散制节后得到的硅片的各个表面进行润洗;2)使用去离子水对步骤1)得到的所述硅片的各个表面进行冲洗;3)将步骤2)得到的所述硅片进行表面干燥;4)使用氢氟酸、硝酸和硫酸的混合溶液对步骤3)得到的所述硅片的侧面和背面进行刻蚀。
【技术特征摘要】
1.一种硅片的湿法刻蚀方法,其特征在于,包括以下步骤:1)使用氢氟酸和硝酸的混合溶液对扩散制节后得到的硅片的各个表面进行润洗;2)使用去离子水对步骤1)得到的所述硅片的各个表面进行冲洗;3)将步骤2)得到的所述硅片进行表面干燥;4)使用氢氟酸、硝酸和硫酸的混合溶液对步骤3)得到的所述硅片的侧面和背面进行刻蚀。2.根据权利要求1所述的硅片的湿法刻蚀方法,其特征在于:步骤1)中,所述氢氟酸和硝酸的混合溶液中氢氟酸与硝酸的质量浓度百分比为5:1~10:1。3.根据权利要求1所述的硅片的湿法刻蚀方法,其特征在于:步骤1)中,在独立的槽式设备中对扩散制节后得到的所述硅片的各个表面进行润洗,所述槽式设备中具有多个滚轮,扩散制节后得到的所述硅片以漂浮的方式通过所述槽式设备。4.根据权利要1所述的硅片的湿法刻蚀方法,其特征在于:步骤1)中,润洗的时间小于或等于10秒。5.根据权利要求1所述的硅片的湿法刻蚀方法,其特征在于:步骤4)之后,还包括使用去离子水对步骤4)得到的所述硅片的各个表面进...
【专利技术属性】
技术研发人员:谢新明,杨钰,邱锐敏,
申请(专利权)人:茂迪苏州新能源有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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