包括铁电组件及快速高介电金属栅极晶体管的半导体设备制造技术

技术编号:9296661 阅读:97 留言:0更新日期:2013-10-31 00:59
本发明专利技术揭露一种包括铁电组件及快速高介电金属栅极晶体管的半导体设备,其中,基于氧化铪可形成铁电电路组件,例如场效晶体管或电容器,在制造快速晶体管的精密高介电金属栅极电极结构期间也可使用氧化铪。为此目的,在任何适当的制造阶段可图案化有适当厚度及材料组合物的铪基氧化物,而不会不适当地影响用于制造精密高介电金属栅极电极结构的整体工艺流程。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体设备,其包含:第一电路组件,其包括包含第一高介电常数介电层的第一电极结构,该第一高介电常数介电层有第一厚度以及包含铪;以及第二电路组件,其包括包含具有铁电性能的第二高介电常数介电层的第二电极结构,该第二高介电常数介电层有第二厚度及包含铪,该第二厚度大于该第一厚度。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:T·施勒塞尔P·巴尔斯
申请(专利权)人:格罗方德半导体公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1