【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种热氧化晶圆生成氧化层的方法，包括下列步骤：在炉管内放置需要氧化的晶圆并通过加热器对所述炉管进行加热；向反应器内通入氧气和氢气并混合燃烧；将燃烧后生成的水蒸气和剩余的氧气从所述炉管的进气口通入炉管内；从所述进气口通入氮气以将炉管内的气体从炉管的排气口排出；通入的所述氢气流量的一半加上通入的所述氧气流量等于通入的所述氮气流量。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：平梁良，陈清，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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