【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于高密度芯片的倒装键合平台,该倒装键合平台包括作为所有元件安装基础的基座(201),以及芯片剥离和翻转单元(100)、XY向运动单元(200)、多自由度键合头(300)和贴装台单元(401),其特征在于:所述芯片剥离和翻转单元(100)包括夹持模块(109)、顶针模块(112)、遍历模块和翻转模块(104),其中夹持模块(109)用于装夹承载有大量芯片的晶圆盘;顶针模块(112)用于将待封装的芯片顶起并促其从蓝膜剥离;遍历模块用于带动整个晶圆盘在XY方向移动,进而实现顶针模块对晶圆盘上每一个芯片的遍历;翻转模块(104)用于将所剥离的芯片通过吸嘴吸附翻转一定角度,并送至芯片拾取位置;所述XY向运动单元(200)布置在芯片剥离和翻转单元(100)的一侧,并包括分别沿着X轴和Y轴分布的支撑导轨以及各自对应的直线电机驱动部件(202,203);所述多自由度键合头(300)以悬臂形式安装在XY向运动单元(200)的支撑导轨上,并可在直线电机驱动部件(202,203)的驱动下沿着X轴和Y轴方向来回移动,当键合头到达芯片拾取位置时,它将已送至该位置的芯片予以吸附拾取,然后将芯片相对于基板执行 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈建魁,李宏举,尹周平,蔡伟林,钟强龙,孙湘成,陈伟,张步阳,谢俊,马亮,吴沛然,温雯,杨航,张前,于明浩,王冠,史明辉,
申请(专利权)人:华中科技大学,
类型:发明
国别省市:
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