【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种鳍式场效应管的形成方法，其特征在于，包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底表面形成有隔离层；形成贯穿所述隔离层、且一端位于半导体衬底内的鳍部，所述鳍部表面高于隔离层表面；形成位于所述隔离层表面、且横跨所述鳍部的顶部和侧壁的栅极结构；形成位于所述栅极结构侧壁和鳍部侧壁的伪侧墙；形成位于所述伪侧墙表面、且包裹所述鳍部的外延层；在形成所述外延层后去除所述伪侧墙。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：三重野文健，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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