【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种鳍式场效应管的形成方法，其特征在于，包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底表面具有多个鳍部；形成位于所述鳍部的顶部和侧壁的介质层；采用化学气相沉积工艺或原子层沉积工艺形成金属层，所述金属层位于所述介质层表面、且填充满相邻鳍部间的区域。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：三重野文健，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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