本发明提供一种用于原子层沉积的方法。所述方法包括提供具有表面区域的衬底，并将所述衬底的所述表面区域暴露于大气压。该方法还至少将所述衬底保持在大约大气压下，并且利用原子层沉积形成上覆于所述表面区域的膜，同时所述衬底被保持在大约大气压下。优...