【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种光电器件的排气激活方法,其特征在于,它包括以下步骤:(1)将光电器件的排气管与真空排气台的真空系统相连接,然后开启真空排气台,对光电器件进行抽气,当光电器件内的真空度达到5×10?3Pa至5.5×10?3Pa时,预抽2至4h后给光电器件进行加温到300℃至400℃,保温4h至8h进行除气,然后降至室温;(2)然后对光电器件通入氢气净化阴极平板,对聚焦极、各级倍增极、末级倍增极、阳极进行1200V至1500V高压放电去毛刺;(3)然后将光电器件接入蒸锑通电回路进行蒸锑处理,蒸锑电流为1A~1.3A,蒸锑时间5至10分钟;(4)开启高频电炉,用高频线圈烘烤钾管和铯管进行预先除气,直到钾管内的真空度不低于1×10?4Pa时停止烘烤,然后烤出钾蒸汽赶至与排气管相连的小球内,摘除钾管;(5)分别将光电器件的阴极与光电器件的第一倍增极接到激活电源上,钨丝灯光源固定在光电器件窗前端40~50mm处,使倍增区温度控制在200℃~250℃,阴极区温度控制在210℃~220℃,把小球内钾蒸汽赶至光电器件内,进钾激活,反复数次直到阴极面变为紫红色,摘除小球,然后烘去光电器件内的余钾;(6)开启高频电炉, ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:周荣楣,方莉,江秋玲,王浩东,尚秋辉,
申请(专利权)人:南京华东电子光电科技有限责任公司,南京三乐电子信息产业集团有限公司,
类型:发明
国别省市:
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