【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种真空器件用嵌入式小钛泵，其特征在于：真空器件的外壳设有一通孔，将小钛泵嵌入真空器件，固接于真空器件内部的结构上，且小钛泵伸出于该通孔；将磁钢固定在真空器件外壳上，位于通孔周缘，罩于小钛泵上，使磁钢与真空器件外壳成为一体；利用真空器件的外壳做负极，固接小钛泵的内部结构做正极，构成小钛泵的两电极。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李实，贺鑫，李颖，
申请(专利权)人：中国科学院电子学研究所，
类型：发明
国别省市：11
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