用于保持密封容器内高真空的低温吸附组合抽气装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种在低温电子器件密封容器内超长时间保持高真空的低温吸附组合抽气装置，包括：吸附头和传热板；其特征在于，所述吸附头是一具有至少一个孔状或槽状大容量吸附区和至少一个孔状或槽状小容量吸附区的容器，单个小容量吸附区与大容量吸附区的容积比值小于１∶５；所述容量吸附区和小容量吸附区中放置吸附剂，所述吸附头中放入吸附剂后，其上端使用金属丝网覆盖。本发明专利技术的低温吸附组合抽气装置，不需要液氮储存筒，具有结构简单、紧凑、小巧的特点。本发明专利技术使用时无需高温烘烤，并且对电子器件不存在附加的强电、磁场干扰。在制冷机长期停机后，本发明专利技术能随制冷机的启动自行启动，并达到超长时间保持制冷机密封容器内高真空的要求。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于保持密封容器内高真空的低温吸附组合抽气装置，包括：吸附头（１）和传热板（２）；所述吸附头（１）固定安装在所述传热板（２）上，所述传热板（２）固定安装在制冷机冷头（７）上；其特征在于，所述吸附头是一具有至少一个孔状大容量吸附区（４）和至少一个孔状小容量吸附区（５）的容器，其中单个大容量吸附区（４）的容积至少为０．５ｍＬ，单个小容量吸附区（５）与大容量吸附区（４）的容积比值小于１∶５；所述大容量吸附区（４）和小容量吸附区（５）中放置吸附剂，所述吸附头（１）中放入吸附剂后，其上端使用金属丝网覆盖。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨海清，黎红，何艾生，李春光，张雪强，黄建冬，张强，孙亮，孟庆端，李翡，何豫生，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]