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本发明涉及一种在低温电子器件密封容器内超长时间保持高真空的低温吸附组合抽气装置，包括：吸附头和传热板；其特征在于，所述吸附头是一具有至少一个孔状或槽状大容量吸附区和至少一个孔状或槽状小容量吸附区的容器，单个小容量吸附区与大容量吸附区的容积比...
该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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