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本发明公开了一种真空器件用嵌入式小钛泵，涉及真空钛泵技术，是借用真空器件的外壳和内部电极，或将电极嵌入器件内部，以替代钛泵的电极；外加磁场或利用真空器件的剩磁，从而组成钛泵，钛泵和真空器件融为一体。本发明没有独立的钛泵系统，部分钛泵电极是借...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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