六工位排气台真空系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种六工位排气台真空系统，其具有：两并列布置的第一、第二真空容器；作为主抽真空泵的分子泵，其位于真空容器下侧且与真空容器相连；作为前级泵的机械泵，其与分子泵相连；以及多个设于真空容器的真空阀，其特征在于，所述第一、第二真空容器通过焊接方式分别连接三个真空阀。本实用新型专利技术的有益效果是：六工位排气台真空系统通过直接焊接组合阀于真空室上，解决了传统真空系统连接方式复杂、连接处容易渗漏气体等难题，将工作腔与阀门形成一体，既保证了真空系统的高真空度，提高了抽排气速率，也使整个结构紧凑，占用面积小，增加了工位，提高了排气台工作效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空排气领域，尤其是涉及一种六工位排气台真空系统。
技术介绍
自X射线被发现以来，X光管作为主要的射线源在生物、医学、工业、科研等领域得到了广泛的应用，并产生了巨大的经济效益和社会效益。在X光管制作中，排气工艺的成败至关重要，它直接影响到产品的质量和寿命，因此，排气台设计的好坏是X光管制作的关键。排气台主要由真空系统、烘烤系统、充气系统组成。真空系统是排气台的核心，由真空泵、真空容器、真空阀门、快接接头及管道构成。排气台的真空获得是由机械泵和分子泵组成，机械泵作为前级泵，分子泵作为主抽真空泵，再经过真空容器、真空阀门、接头及管道进入烘烤系统。真空阀门、接头与管道的连接大多采用法兰盘和橡胶密封圈进行密封，这种连接方式存在的缺点包括:连接处的密封圈经常损坏，一旦一处连接处渗漏，将使真空系统真空度、抽排气速率下降，严重时可导致整个排气系统无法连续工作。另外，真空室出气口与管道通过接头连接占用面积较大，致使现有排气台普遍为四工位，排气台工作效率低。
技术实现思路
本技术的目的就是为了解决上述问题，提供一种提高排气台工作效率和质量的六工位排气台真空系统。为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案:—种六工位排气台真空系统，其具有:两并列布置的第一、第二真空容器；作为主抽真空泵的分子泵，其位于真空容器下侧且与真空容器相连；作为前级泵的机械泵，其与分子泵相连；以及多个设于真空容器的真空阀，其特征在于，所述第一、第二真空容器通过焊接方式分别连接三个真空阀。本技术的有益效果是:六工位排气台真空系统通过直接焊接组合阀于真空室上，解决了传统真空系统连接方式复杂、连接处容易渗漏气体等难题，将工作腔与阀门形成一体，既保证了真空系统的高真空度，提高了抽排气速率，也使整个结构紧凑，占用面积小，增加了工位，提高了排气台工作效率。附图说明图1是六工位排气台真空系统结构示意图。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。一种六工位排气台真空系统，其包括:真空容器、分子泵、机械泵、真空阀。参见图1，六工位排气台真空系统的真空容器为两并列布置的第一、第二真空室11，12。六工位排气台真空系统还具有:作为主抽真空泵的分子泵21，22，其位于真空容器下侧且与真空容器相连，分子泵21与第一真空室11相连，分子泵22与第二真空室12相连；作为前级泵的机械泵31，32，机械泵31与分子泵21相连，机械泵32与分子泵22相连。传统的法兰连接方式使得单个真空室上方设置的真空阀的数量偏少，这与缺乏相应的安装位相关，因此，本案中，第一、第二真空容器通过焊接方式分别连接三个真空阀41，42，43，44，45，46，从而使得单个真空室多出一个真空阀安装位，使得四工位的排气台变成六工位，真空阀采用等间距方式布置。位于真空阀上方，具有加热炉5。以上所述仅为本技术的优选实施方式，本技术的保护范围并不仅限于上述实施方式，凡是属于本技术原理的技术方案均属于本技术的保护范围。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本技术的原理的前提下进行的若干改进，这些改进也应视为本技术的保护范围。权利要求1.一种六工位排气台真空系统，其具有: 两并列布置的第一、第二真空容器； 作为主抽真空泵的分子泵，其位于真空容器下侧且与真空容器相连； 作为前级泵的机械泵，其与分子泵相连；以及 多个设于真空容器的真空阀，其特征在于，所述第一、第二真空容器通过焊接方式分别连接三个真空阀。专利摘要本技术公开了一种六工位排气台真空系统，其具有两并列布置的第一、第二真空容器；作为主抽真空泵的分子泵，其位于真空容器下侧且与真空容器相连；作为前级泵的机械泵，其与分子泵相连；以及多个设于真空容器的真空阀，其特征在于，所述第一、第二真空容器通过焊接方式分别连接三个真空阀。本技术的有益效果是六工位排气台真空系统通过直接焊接组合阀于真空室上，解决了传统真空系统连接方式复杂、连接处容易渗漏气体等难题，将工作腔与阀门形成一体，既保证了真空系统的高真空度，提高了抽排气速率，也使整个结构紧凑，占用面积小，增加了工位，提高了排气台工作效率。文档编号H01J9/385GK203038889SQ20122057534公开日2013年7月3日 申请日期2012年11月5日 优先权日2012年11月5日专利技术者董湧法, 张玉春, 刘辉 申请人:上海涌真机械有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种六工位排气台真空系统，其具有：?两并列布置的第一、第二真空容器；?作为主抽真空泵的分子泵，其位于真空容器下侧且与真空容器相连；?作为前级泵的机械泵，其与分子泵相连；以及?多个设于真空容器的真空阀，其特征在于，所述第一、第二真空容器通过焊接方式分别连接三个真空阀。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：董湧法，张玉春，刘辉，
申请(专利权)人：上海涌真机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：