【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空排气领域，尤其是涉及一种六工位排气台真空系统。
技术介绍
自X射线被发现以来，X光管作为主要的射线源在生物、医学、工业、科研等领域得到了广泛的应用，并产生了巨大的经济效益和社会效益。在X光管制作中，排气工艺的成败至关重要，它直接影响到产品的质量和寿命，因此，排气台设计的好坏是X光管制作的关键。排气台主要由真空系统、烘烤系统、充气系统组成。真空系统是排气台的核心，由真空泵、真空容器、真空阀门、快接接头及管道构成。排气台的真空获得是由机械泵和分子泵组成，机械泵作为前级泵，分子泵作为主抽真空泵，再经过真空容器、真空阀门、接头及管道进入烘烤系统。真空阀门、接头与管道的连接大多采用法兰盘和橡胶密封圈进行密封，这种连接方式存在的缺点包括:连接处的密封圈经常损坏，一旦一处连接处渗漏，将使真空系统真空度、抽排气速率下降，严重时可导致整个排气系统无法连续工作。另外，真空室出气口与管道通过接头连接占用面积较大，致使现有排气台普遍为四工位，排气台工作效率低。
技术实现思路
本技术的目的就是为了解决上述问题，提供一种提高排气台工作效率和质量的六工位排气台真空系统。为了实现上述目的...
【技术保护点】
一种六工位排气台真空系统，其具有：?两并列布置的第一、第二真空容器；?作为主抽真空泵的分子泵，其位于真空容器下侧且与真空容器相连；?作为前级泵的机械泵，其与分子泵相连；以及?多个设于真空容器的真空阀，其特征在于，所述第一、第二真空容器通过焊接方式分别连接三个真空阀。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：董湧法，张玉春，刘辉，
申请(专利权)人：上海涌真机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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