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本实用新型公开了一种六工位排气台真空系统，其具有：两并列布置的第一、第二真空容器；作为主抽真空泵的分子泵，其位于真空容器下侧且与真空容器相连；作为前级泵的机械泵，其与分子泵相连；以及多个设于真空容器的真空阀，其特征在于，所述第一、第二真空容...
该专利属于上海涌真机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海涌真机械有限公司授权不得商用。

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