大尺寸硅片清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种大尺寸硅片清洗装置，包括支撑轴（1）、传动臂（11）以及花篮（21）；支撑轴（1）和花篮（21）之间通过传动臂（11）相互连接；支撑轴（1）内设置有可调频动力轴（2），可调频动力轴（2）上设置有可调频动力轴齿轮（3）；花篮（21）上设置有花篮动力轴（23），花篮动力轴（23）上设置有花篮动力轴齿轮（22）；传动臂（11）内设置有传动链条（12），的可调频动力轴齿轮3和花篮动力轴齿轮（22）之间通过传动链条（12）相互连接。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
大尺寸硅片清洗装置，包括支撑轴（1）、传动臂（11）以及花篮（21）；其特征是：所述支撑轴（1）和花篮（21）之间通过传动臂（11）相互连接；所述支撑轴（1）内设置有可调频动力轴（2），可调频动力轴（2）上设置有可调频动力轴齿轮（3）；所述花篮（21）上设置有花篮动力轴（23），花篮动力轴（23）上设置有花篮动力轴齿轮（22）；传动臂（11）内设置有传动链条（12），所述的可调频动力轴齿轮（3）和花篮动力轴齿轮（22）之间通过传动链条（12）相互连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谌虹毅，陈杰，柏友荣，刘浦锋，宋洪伟，陈猛，
申请(专利权)人：上海超硅半导体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：