一种废渣回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种废渣回收装置，所述的废渣回收装置包括废料槽，所述的废料槽内纵向设置隔板，所述隔板将废料槽分为顶部连通的沉淀池和溢流池，废水液位超过隔板上缘后溢流进入溢流池；所述的沉淀池内设置至少一层锥形结构过滤网，所述的过滤网的锥角尖端外接排渣管路，过滤组件截留的固体微粒在锥角聚积后经由排渣管路排出收集。本实用新型专利技术通过设置沉淀池和溢流池实现了废水的二次沉降分离，在沉淀池内部设置锥形结构过滤网实现了不同粒径尺寸的固体微粒的分级分离。装置结构简单，操作简便，可以方便的解决研磨废液的排放和废渣回收的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种废渣回收装置
本技术属于废渣回收
，涉及一种废渣回收装置，尤其涉及一种用于处理硅片研磨过程中产生的研磨废液的废渣回收装置。
技术介绍
在IC制造的前道工序中，需要将硅单晶棒切割成硅片。硅片切割后，表面会残留切割线痕和微裂纹，损伤层可达10～50μm，通常采用双面研磨工艺来消除线痕，减小损伤层深度和改善面型精度。双面研磨产生的废液中含有大量的固体微粒，包括有磨料、硅颗粒、磨盘研磨下来的金属微粒等，如果直接排入废水管中很容易造成堵塞。CN203954862U公开了一种农村生活污水处理装置，它包括溢流池、沉淀池、排出口，所述溢流池旁边设置有沉淀池，沉淀池中间用一个挡板隔开，所述挡板比沉淀池壁矮，沉淀池远离溢流池一侧开有排出口，排出口比挡板的位置低，所述溢流池与沉淀池相连的池壁上方设置有漏网。CN207227188U公开了一种建筑用污水处理装置，包括砂石池、过滤池、沉淀池、溢流池和消毒箱，所述砂石池、过滤池、沉淀池和溢流池依次连续布置，过滤池内设有用于导入污水的进水管，过滤池内安装有倾斜的滤网，且滤网的最底端位置处与砂石池连通；所述过滤池和沉淀池通过抽水管连接，抽水管上还安装有水泵一，抽水管还与用于向污水投入絮凝剂的加药管连接，所述沉淀池的底部设有多个截面为等腰梯形的污泥斗，每个所述污泥斗内均固定有用于排泥的排泥支管，多个排泥支管均与排泥干管连接，沉淀池与溢流池之间以隔墙隔开，隔墙的上部设有等高的多个溢流孔，溢流孔的设计使得沉淀池内的上层清水能溢流至溢流池内，溢流池通过出水管与用于进行消毒的消毒箱连接，出水管上安装有水泵二，水泵二和水泵一均与电源和控制开关连接。综合来看，目前现有的废水处理设备一方面结构较为复杂，投资成本较高，另一方面，回收效果和过滤效果不理想。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种废渣回收装置，本技术通过设置沉淀池和溢流池实现了废水的二次沉降分离，在沉淀池内部设置锥形结构过滤网实现了不同粒径尺寸的固体微粒的分级分离。装置结构简单，操作简便，可以方便的解决研磨废液的排放和废渣回收的问题。为达此目的，本技术采用以下技术方案：本技术提供了一种废渣回收装置，所述的废渣回收装置包括废料槽，所述的废料槽内纵向设置隔板，所述隔板将废料槽分为顶部连通的沉淀池和溢流池，废水液位超过隔板上缘后溢流进入溢流池；所述的沉淀池内设置至少一层锥形结构过滤网，所述的过滤网的锥角尖端外接排渣管路，过滤组件截留的固体微粒在锥角聚积后经由排渣管路排出收集。本技术通过设置沉淀池和溢流池实现了废水的二次沉降分离，在沉淀池内部设置锥形结构过滤网实现了不同粒径尺寸的固体微粒的分级分离。装置结构简单，操作简便，可以方便的解决研磨废液的排放和废渣回收的问题。需要说明的是，本技术设计该废渣回收装置的主要目的在于过滤硅片研磨过程中产生的研磨废液并回收废液中的固体微粒，但并不意味着限定了该废渣回收装置的应用场景，其他有回收废渣的使用需求的任何使用场景均可采用本技术提供的废渣回收装置。作为本技术一种优选的技术方案，所述的沉淀池内设置一层倒锥形结构的过滤网。作为本技术一种优选的技术方案，所述的沉淀池顶部开设进液口。作为本技术一种优选的技术方案，所述的沉淀池底部设置排渣口。作为本技术一种优选的技术方案，所述的溢流池侧壁开设排液口。作为本技术一种优选的技术方案，所述的排液口距溢流池底部10～30cm，例如可以是10cm、11cm、12cm、13cm、14cm、15cm、16cm、17cm、18cm、19cm、20cm、21cm、22cm、23cm、24cm、25cm、26cm、27cm、28cm、29cm或30cm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。作为本技术一种优选的技术方案，所述的排液口距溢流池底部20cm。作为本技术一种优选的技术方案，所述的排液口外接排液管路。作为本技术一种优选的技术方案，所述的溢流池底部设置排渣口。作为本技术一种优选的技术方案，所述的废渣回收装置还包括移动底座，所述的废料槽固定于移动底座上。作为本技术一种优选的技术方案，所述的废料槽可拆卸固定于移动底座上。采用本技术提供的废渣回收装置过滤硅片研磨过程中产生的研磨废液并回收废液中的固体微粒，所述的过滤过程具体包括如下步骤：研磨废液由进液口进入沉淀池，研磨废液中的固体微粒自然沉降落入锥形结构过滤网，大尺寸的固体颗粒被过滤网截留在锥角尖端聚积。随着研磨废液的注入，废液液面升高，当超出隔板上缘时溢流进入溢流池，废液中残留的固体颗粒在溢流池内进行二次沉降分离，二次沉降分离后的废液由排液口排出，一段时间后，打开排渣管路上设置的排渣阀，过滤网内聚积的固体颗粒由排渣管路排出回收。过滤网滤过的小尺寸固体颗粒沉积在沉淀池底部，通过排渣口定期排渣。与现有技术相比，本技术的有益效果为：本技术通过设置沉淀池和溢流池实现了废水的二次沉降分离，在沉淀池内部设置锥形结构过滤网实现了不同粒径尺寸的固体微粒的分级分离。装置结构简单，操作简便，可以方便的解决研磨废液的排放和废渣回收的问题。附图说明图1为本技术一个具体实施方式提供的废渣回收装置的结构示意图。其中，1-溢流池；2-沉淀池；3-隔板；4-进液口；5-过滤网；6-第一排渣口；7-排渣管路；8-排液口；9-第二排渣口；10-移动底座。具体实施方式需要理解的是，在本技术的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。需要说明的是，在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。在一个具体实施方式中，本技术提供了一种废渣回收装置，所述的废渣回收装置如图1所示，包括废料槽，废料槽内纵向设置隔板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废渣回收装置，其特征在于，所述的废渣回收装置包括废料槽，所述的废料槽内纵向设置隔板，所述隔板将废料槽分为顶部连通的沉淀池和溢流池，废水液位超过隔板上缘后溢流进入溢流池；/n所述的沉淀池内设置至少一层锥形结构过滤网，所述的过滤网的锥角尖端外接排渣管路，过滤组件截留的固体微粒在锥角聚积后经由排渣管路排出收集。/n

【技术特征摘要】
1.一种废渣回收装置，其特征在于，所述的废渣回收装置包括废料槽，所述的废料槽内纵向设置隔板，所述隔板将废料槽分为顶部连通的沉淀池和溢流池，废水液位超过隔板上缘后溢流进入溢流池；
所述的沉淀池内设置至少一层锥形结构过滤网，所述的过滤网的锥角尖端外接排渣管路，过滤组件截留的固体微粒在锥角聚积后经由排渣管路排出收集。


2.根据权利要求1所述的废渣回收装置，其特征在于，所述的沉淀池内设置一层倒锥形结构的过滤网。


3.根据权利要求2所述的废渣回收装置，其特征在于，所述的沉淀池顶部开设进液口。


4.根据权利要求3所述的废渣回收装置，其特征在于，所述的沉淀池底部设置排渣口。

【专利技术属性】
技术研发人员：梁后飞，沈思情，李洪亮，张俊宝，陈猛，
申请(专利权)人：上海超硅半导体有限公司，重庆超硅半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31