石墨载板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石墨载板，包括石墨板，所述石墨板上均匀设置有若干镂空区域，相邻镂空区域之间通过间隔条间隔开；所述间隔条上设置有卡槽，用于安装金属挂钩；硅片通过所述金属挂钩放置于所述镂空区域内；其中：所述镂空区域呈四角具有倒角的正方形，正方形的边长为162-166mm，倒角的直径为212-216mm。从而可通过金属挂钩将更大尺寸的硅片支撑在镂空区域内，以适应更大尺寸的硅片的要求；同时由于石墨框镂空区域尺寸与硅片尺寸非常接近两者之间的间隙很小较少了反应气体有硅片正面蔓延的硅片背面的几率，因此也减少了平板PECVD镀膜时硅片边缘的色差，降低了由于背面反镀造成的产品质量降低的现象。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池
，尤其涉及一种石墨载板。
技术介绍
为了提高晶体硅电池正面的陷光性，工业中常采用表面织构化和减反射膜技术，以减少电池正面对太阳光的反射。其中，减反射膜一般采用等离子增强气相沉积(PECVD)来制备。在制备减反射膜的过程中，需将硅片放置在石墨载板上，再将纸膜载板置于PECVD设备中，之后进行沉积过程。然而，太阳能光伏产业的迅速发展，需要不断降低物料成本，提高太阳能电池片的功率，降低生产成本，提高发电量。为了获得更高的电池功率，可通过采用更大面积的硅片来制备太阳能电池片。然而，若使用更大尺寸的硅片，则现有的石墨载板就不能再适用。因此，有必要对石墨载板进行改进。
技术实现思路
本技术的主要目的是提供一种石墨载板，从而适用于更大尺寸的硅片，进一步提高太阳能电池的转换效率。为实现上述目的，本技术提供一种石墨载板，用于板式PECVD工序中，包括：石墨板，所述石墨板上均匀设置有若干镂空区域，相邻镂空区域之间通过间隔条间隔开；所述间隔条上设置有卡槽，用于安装金属挂钩；硅片通过所述金属挂钩放置于所述镂空区域内；其中：所述镂空区域呈四角具有倒角的正方形，正方形的边长为162-166mm，倒角的直径为212-216mm。较佳地，所述硅片放入所述镂空区域后，所述硅片边缘距离所述镂空区域边缘的距离为1-3mm。较佳地，相邻镂空区域之间的间距为7-9mm。<br>较佳地，每个间隔条上设置有两个卡槽，所述两个卡槽位置居中，且两个卡槽之间的间距为80mm。较佳地，所述硅片的尺寸为：边长160mm*160mm，倒角直径为210mm。较佳地，所述石墨板上设置的镂空区域的数量为5行10列或5行9列。本技术由于采用以上技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果：1)本技术提供的石墨载板包括石墨板，所述石墨板上均匀设置有若干镂空区域，相邻镂空区域之间通过间隔条间隔开；所述间隔条上设置有卡槽，用于安装金属挂钩；硅片通过所述金属挂钩放置于所述镂空区域内；其中：所述镂空区域呈四角具有倒角的正方形，正方形的边长为162-166mm，倒角的直径为212-216mm。从而可通过金属挂钩将更大尺寸的硅片支撑在镂空区域内，以适应更大尺寸的硅片的要求；同时由于石墨框镂空区域尺寸与硅片尺寸非常接近两者之间的间隙很小较少了反应气体有硅片正面蔓延的硅片背面的几率，因此也减少了平板PECVD镀膜时硅片边缘的色差，降低了由于背面反镀造成的产品质量降低的现象。附图说明图1为本技术实施例提供的5*10规格的石墨载板的示意图；图2为镂空区域的局部放大图；图3为间隔条的局部放大图；图4为本技术实施例提供的5*9规格的石墨载板的示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，并不用于限定本技术。请参照图1以及图3至图4，本技术提供的石墨载板，用于板式PECVD工序中，包括石墨板1，石墨板1上均匀设置有若干镂空区域2，在本实施例中，石墨板1上设置的镂空区域2的数量为5行10列，如图1所示；相邻镂空区域2之间通过间隔条3间隔开；间隔条3上设置有卡槽4，用于安装金属挂钩；硅片通过金属挂钩放置于镂空区域2内；其中，镂空区2呈四角具有倒角的正方形，正方形的边长为162-166mm，倒角的直径为212-216mm。其中，镂空区域的局部放大图如图2所示。本技术提供的石墨载板可以承载边长为160mm*160mm、倒角直径为210mm的硅片进行镀膜。使用该尺寸的硅片后，单个太阳能电池的功率会大大提高。优选地，硅片放入镂空区域2后，硅片边缘距离镂空区域2边缘的距离为1-3mm。由于石墨框镂空区域尺寸与硅片尺寸非常接近两者之间的间隙很小较少了反应气体有硅片正面蔓延的硅片背面的几率，因此可减少平板PECVD镀膜时硅片边缘的色差，降低由于背面反镀造成的产品质量降低的现象。在本实施例中，相邻镂空区域2之间的间距d为7-9mm，优选为8mm；如图2所示。其中，每个间隔条3上设置有两个卡槽4，两个卡槽4位置居中，且两个卡槽4之间的间距为80mm，如图3所示。当石墨板1上设置的镂空区域2的数量为5行10列时，石墨板1的尺寸为1860mm*1000mm。当然，在其它实施例中，石墨板1上设置的镂空区域2的数量为5行9列，如图4所示，此时，石墨板1的尺寸为1690mm*1000mm。以上所述仅为本技术的优选实施例，并非因此限制本技术的专利范围。显然，本领域的技术人员可以对技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨载板，用于板式PECVD工序中，其特征在于，包括：石墨板，所述石墨板上均匀设置有若干镂空区域，相邻镂空区域之间通过间隔条间隔开；所述间隔条上设置有卡槽，用于安装金属挂钩；硅片通过所述金属挂钩放置于所述镂空区域内；其中：所述镂空区域呈四角具有倒角的正方形，正方形的边长为162‑166mm，倒角的直径为212‑216mm。

【技术特征摘要】
1.一种石墨载板，用于板式PECVD工序中，其特征在于，包括：
石墨板，所述石墨板上均匀设置有若干镂空区域，相邻镂空区域之间通
过间隔条间隔开；
所述间隔条上设置有卡槽，用于安装金属挂钩；硅片通过所述金属挂钩
放置于所述镂空区域内；其中：
所述镂空区域呈四角具有倒角的正方形，正方形的边长为162-166mm，
倒角的直径为212-216mm。
2.如权利要求1所述的石墨载板，其特征在于，所述硅片放入所述镂空
区域后，所述硅片边缘距离所述镂空区域边缘的距...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈璐，王举亮，倪玉凤，张婷，钱俊，董鹏，高鹏，宋志成，
申请(专利权)人：中电投西安太阳能电力有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61