用于检查石墨烯板的设备和方法技术

本发明专利技术提供一种用于检查石墨烯板的设备和方法。用于检查形成有至少一个石墨烯层的石墨烯板的石墨烯板检查设备包括：光处理单元，将至少一束光照射到石墨烯板上，接收穿透石墨烯板的所述至少一束光，并将接收到的所述至少一束光转换成输出信号；透射率检测单元，接收来自光处理单元的输出信号以检查穿透石墨烯板的至少一束光的透射率；和确定单元，连接到透射率检测单元，并接收检测的透射率以通过分析检测的透射率来确定石墨烯板的状态。

【技术实现步骤摘要】
用于检查石墨烯板的设备和方法相关专利申请的交叉引用本申请要求于2012年4月9日提交到韩国知识产权局的第10-2012-0036800号韩国专利申请和于2012年8月8日提交到韩国知识产权局的第10-2012-0086942号韩国专利申请的优先权，其全部公开通过引用包含于此。
与示例性实施例一致的设备和方法涉及仪器的测量，更具体地讲，涉及检查形成有石墨烯的石墨烯板。
技术介绍
随着半导体技术的发展，正在积极执行关于新材料的开发。具体地讲，正在进行对于包括碳的材料(例如，碳纳米管、金刚石、石墨、石墨烯等)的研究。具体地讲，作为包括碳的纳米材料的石墨烯的导电率是铜的100倍或更高，并且可以以硅的100倍或者更高倍数的速度迅速转移电子。因此，石墨烯已逐渐取代电子设备的导电材料，并且石墨烯板可以是一种导电材料。石墨烯板具有这样的状态：对由绝缘材料形成的基底上形成的石墨烯层进行图案化。在第2010-175433号日本开放专利公布(laid-openPatentPublication)中公开了一种检查石墨烯板的方法。详细地讲，该日本开放专利公布公开了一种通过在透明导电膜上照射紫外(UV)线来确定是否存在透明导电膜的方法。然而，需要更具体的方法来检查石墨烯板。
技术实现思路
一个或多个示例性实施例提供一种用于检查石墨烯板的状态的设备和方法。根据示例性实施例的一方面，提供一种用于检查形成有至少一个石墨烯层的石墨烯板的石墨烯板检查设备，所述石墨烯板检查设备包括：光处理单元，将至少一束光照射到石墨烯板上，接收穿透石墨烯板的所述至少一束光，并将所接收的至少一束光转换成输出信号；透射率检测单元，接收来自光处理单元的输出信号以检查穿透石墨烯板的所述至少一束光的透射率；和确定单元，连接到透射率检测单元，并接收检测的透射率以通过分析检测的透射率来确定石墨烯板的状态。所述至少一束光中的每束光可具有380nm到780nm的波长。可在外部光被阻挡的地方检查石墨烯板。光处理单元可包括：室，具有密封的内部空间以阻挡外部光；基底支撑构件，布置在室中并具有安装在它上面的石墨烯板；发光装置，布置在基底支撑构件的上方，并将所述至少一束光照射到石墨烯板上；和光接收装置，布置在基底支撑构件的下方，并接收穿透石墨烯板的所述至少一束光。发光装置可布置在室的顶部。光接收装置可布置在室的底部。从发光装置发射的所述至少一束光可沿垂直方向穿透石墨烯板。基底支撑构件可沿水平方向移动石墨烯板。确定单元可包括：数据计算单元，通过分析检测的透射率来计算所述至少一个石墨烯层的宽度和所述至少一个石墨烯层之间的间距；分类单元，通过分析检测的透射率来将石墨烯板分类为好的石墨烯板和有缺陷的石墨烯板。用于对形成在石墨烯板中的所述至少一个石墨烯层进行图案化的图案化单元可布置在石墨烯板检查设备的前端。石墨烯板可包括透明材料，从光处理单元发射的所述至少一束光穿透该透明材料。光处理单元可包括：发光装置，发射光；光分割单元，将从发光装置发射的光分割成包括多束光的所述至少一束光，并将分割的所述至少一束光照射到石墨烯板；和光接收装置，接收穿透石墨烯板的所述至少一束光。根据另一示例性实施例的一方面，提供一种检查石墨烯板的方法，所述方法包括：制备在基底上形成有至少一个石墨烯层的石墨烯板；将至少一束光照射到石墨烯板；检测穿透石墨烯板的所述至少一束光的透射率；以及通过分析检测的透射率来确定石墨烯板的状态。所述至少一束光可具有380nm到780nm的波长。所述方法可还包括：通过分析所述至少一束光的透射率来测量形成在石墨烯板上的所述至少一个石墨烯层的宽度和所述至少一个石墨烯层之间的间距。附图说明通过参照附图详细描述示例性实施例，以上和其它方面将会变得更加明显，其中：图1是根据示例性实施例的安装有石墨烯板的石墨烯板检查设备的示意性框图；图2是根据示例性实施例的图1中示出的确定单元的框图；图3是根据示例性实施例的由图1的石墨烯板检查设备检查的石墨烯板的剖视图；图4是示出根据示例性实施例的穿透石墨烯板的光的透射率的曲线图；图5示出根据示例性实施例的图1中示出的发光装置的结构；图6示出根据示例性实施例的图1中示出的光接收装置的结构；图7A是根据示例性实施例的石墨烯层的一部分形成得相对较低的石墨烯板的剖视图；图7B是示出根据示例性实施例的穿透图7A的石墨烯板的光的透射率的曲线图；图8A是根据示例性实施例的在未形成有石墨烯层的区域中包括石墨烯的废料的石墨烯板的剖视图；图8B是示出根据示例性实施例的穿透图8A的石墨烯板的光的透射率的曲线图；图9A是根据示例性实施例的石墨烯层未形成在应该形成有石墨烯层的区域中的石墨烯板的剖视图；图9B是示出根据示例性实施例的穿透图9A的石墨烯板的光的透射率的曲线图；图10A是根据示例性实施例的石墨烯层形成在不应该形成有石墨烯层的区域中的石墨烯板的剖视图；图10B是示出根据示例性实施例的穿透图10A的石墨烯板的光的透射率的曲线图；图11是根据另一示例性实施例的安装有石墨烯板的石墨烯板检查设备的框图；图12是根据另一示例性实施例的石墨烯板检查设备的框图；和图13是显示根据示例性实施例的检查石墨烯板的方法的流程图。具体实施方式现在将参照附图详细描述根据专利技术构思的示例性实施例。附图中的相同标号可表示相同的元件。图1是根据示例性实施例的安装有石墨烯板301的石墨烯板检查设备101的示意性框图。参照图1，石墨烯板检查设备101包括：光处理单元110、透射率检测单元121、确定单元131、存储单元141和显示单元151。石墨烯板检查设备101检查石墨烯板301的状态。换句话说，石墨烯板检查设备101通过利用光检查石墨烯板301来确定石墨烯板301是处于好的状态还是处于坏的状态。图3是石墨烯板301的剖视图。参照图3，石墨烯板301包括：基底311；和石墨烯层321，具有特定图案并形成在基底311上。换句话说，基底311包括：区域331，石墨烯层321形成在区域331中；区域335，石墨烯层321不形成在区域335中。因此，如果光被发射到石墨烯板301上，则穿透形成有石墨烯层321的区域331的光的透射率和穿透未形成有石墨烯层321的区域335的光的透射率彼此不同。石墨烯板检查设备101通过利用这个事实来检查石墨烯板301。基底311可由这样的材料形成：光可穿透该材料，但该材料不导电，例如，从由聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、乙二醇改性聚对苯二甲酸乙二酯(polyethyleneterephthalateglycol，PETG)和聚碳酸酯构成的组选择的至少一种材料。光处理单元110将光照射到石墨烯板301上，接收穿透石墨烯板301的光，将接收的光转换成电信号，并输出电信号。照射到石墨烯板301的光可具有波长为380nm到780nm的光线。具体地讲，当光线具有550nm的波长时，穿透石墨烯板301的光相对于石墨烯板301(例如，石墨烯层321和/或基底311)具有最高的透射率。因此，可优选地使用具有550nm的波长的可见光线来检查石墨烯板301。然而，专利技术构思不限于此，可以使用能够测量穿透石墨烯板301的光的透射率的光线(包括辐射线、UV光或激光)。图4是示出穿透石墨烯板301的光的透射率的曲本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于检查形成有至少一个石墨烯层的石墨烯板的石墨烯板检查设备，所述石墨烯板检查设备包括：光处理单元，将至少一束光照射到石墨烯板上，接收穿透石墨烯板的所述至少一束光，并将所接收到的至少一束光转换成输出信号；透射率检测单元，接收来自光处理单元的输出信号以检查穿透石墨烯板的所述至少一束光的透射率；和确定单元，连接到透射率检测单元，并接收检测到的透射率，以通过分析检测到的透射率来确定石墨烯板的状态。

【技术特征摘要】
2012.04.09 KR 10-2012-0036800;2012.08.08 KR 10-201.一种用于检查形成有多个石墨烯层的石墨烯板的石墨烯板检查设备，所述石墨烯板检查设备包括：光处理单元，将至少一束光照射到石墨烯板上，接收穿透石墨烯板的所述至少一束光，并将所接收到的至少一束光转换成输出信号；透射率检测单元，接收来自光处理单元的输出信号以检查穿透石墨烯板的所述至少一束光的透射率；和确定单元，连接到透射率检测单元，并接收检测到的透射率，以通过分析检测到的透射率来确定石墨烯板的状态，其中，确定单元包括：数据计算单元，利用石墨烯板的移动距离来计算所述多个石墨烯层中的每个石墨烯层的宽度和所述多个石墨烯层之间的间距，其中，通过在移动石墨烯板的同时将所述至少一束光发射到所述多个石墨烯层并分析检测到的透射率来测量所述宽度和所述间距；分类单元，通过分析检测的透射率来将石墨烯板分类为好的石墨烯板或有缺陷的石墨烯板。2.如权利要求1所述的石墨烯板检查设备，其中，所述至少一束光具有380nm到780nm的波长。3.如权利要求1所述的石墨烯板检查设备，其中，所述光处理单元被从外面密封，从而在光处理单元处不接收外部光。4.如权利要求1所述的石墨烯板检查设备，其中，所述光处理单元包括：室，具有密封的内部空间以阻挡外部光；基底支撑构件，布置在室中，在基底支撑构件上安装石墨烯板；发光装置，布置在基底支撑构件的上方，并将所述至少一束光照射到石墨烯板上；和光接收装置，布置在基底支撑构件的下方，并接收穿透石墨烯板的所述至少一束光。5.如权利要求4所述的石墨烯板检查设备，其中，所述发光装置布置在室的顶部。6.如权利要求4所述的石墨烯板检查设备，其中，所述光接收装置布置在室的底部。7.如权利要求4所述的石墨烯板检查设备，其中，从发光装置发射的所述至少一束光沿竖直方向穿透石墨烯板。8.如权利要求4所述的石墨烯板检查设备，其中，所述基底支撑构件沿水平方向移动石墨烯板。9.如权利要求1所述的石墨烯板检查设备，其中，对形成在石墨烯板中的所述多个石墨烯层进行图案化的图案化单元布置在石墨烯板检查设备的前端。10.如权利要求1所述的石墨烯板检查设备，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：元栋观，
申请(专利权)人：三星泰科威株式会社，
类型：发明
国别省市：