【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种石墨载板,具有对应设置的上板面和下板面(11),所述石墨载板还具有多个与硅片配合的通孔(12),其特征在于,所述下板面(11)上设置有容纳下垫块的第一通槽(13),两个相邻所述通孔(12)之间和/或多个所述通孔(12)中的靠近所述下板面(11)的边沿的通孔(12)与该通孔(12)对应的所述边沿之间设置有所述第一通槽(13)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:符昌京,聂文广,
申请(专利权)人:海南英利新能源有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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