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石墨载板及具有其的石墨载板组件制造技术
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文档序号:9508376
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本实用新型提供了一种石墨载板及具有其的石墨载板组件。其中,石墨载板具有对应设置的上板面和下板面(11),石墨载板还具有多个与硅片配合的通孔(12),下板面(11)上设置有容纳下垫块的第一通槽(13),两个相邻通孔(12)之间和/或多个通孔(...
该专利属于海南英利新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过海南英利新能源有限公司授权不得商用。
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