下载石墨载板的技术资料

文档序号:10588542

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本实用新型公开了一种石墨载板,包括石墨板,所述石墨板上均匀设置有若干镂空区域,相邻镂空区域之间通过间隔条间隔开;所述间隔条上设置有卡槽,用于安装金属挂钩;硅片通过所述金属挂钩放置于所述镂空区域内;其中:所述镂空区域呈四角具有倒角的正方形,正...
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