成膜装置制造方法及图纸

技术编号：9225964 阅读：107 留言：0更新日期：2013-10-04 19:44

提供一种成膜装置，即使对于第4代以上的大型基板也能够应对，且实用性非常优异。成膜装置具备成膜室（1），在成膜室（1）中使成膜材料经由掩模（3）附着于保持为直立状态的基板（2），所述成膜装置在成膜室（1）设有：校准驱动机构，其进行掩模（3）与基板（2）的对位，以使掩模（3）相对于基板（2）处于适当位置；蒸发源（100），其能够沿基板（2）或掩模（3）的搬送方向移动；以及掩模搬送机构及基板搬送机构，它们分别将基板（2）和掩模（3）以直立状态搬送至面对蒸发源（100）的多个成膜位置，所述成膜装置构成为，能够一边在一个成膜位置通过蒸发源（100）进行成膜，一边在另一个成膜位置通过校准驱动机构进行掩模（3）与基板（2）的对位。