一种蒸镀用掩模组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种蒸镀用掩模组件，包括外框、若干数量的支撑，所述外框为两组对边形成的中空四边形结构，所述外框包括蒸镀面和掩模板安装面,所述蒸镀面为所述外框面对蒸镀源的一面，所述掩模板安装面为所述外框背离蒸镀源的一面；所述支撑数量大于等于1，所述支撑跨过所述外框中空区域且两端分别固定安装在所述外框一组对边上。采用本实用新型专利技术的蒸镀用掩模组件可以克服掩模板下垂导致掩模板上的掩模图案变形的问题，提高蒸镀质量，进而提高OLED显示器的质量。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于电子印刷领域，具体而言，涉及一种蒸镀用掩模组件。
技术介绍
有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode, OLED),与传统的液晶显示(Liquid Crystal Display, LCD)相比具有制造成本低(只有 TFT-LCD 的 30% — 40%)、可视范围宽(170度以上的视角)、反应时间快、使用温度范围广(-40° 80° )等突出优点，使得利用OLED技术所制成的显示器成为人们广泛关注的产品之一。制造OLED显示器关键环节是将有机材料选择性地蒸镀到衬底上，因此需要蒸镀用的掩模组件，使有机材料淀积的图案与设计的图案相对应。目前小尺寸的OLED显示器的制作技术已经很成熟，而通过同时制作多个OLED显示器实现产量的提高，以及大尺寸的OLED显示器的制作，需要增大传统衬底的尺寸，相应的就需要增大掩模组件的尺寸。传统技术中，制作大尺寸的OLED显示器的掩模组件如图1 图3所示，图1所示为传统蒸镀用掩模组件的组装示意图，10为掩模板，11为外框，101为掩模板上的掩模图案，对掩模板10施加张力的同时将掩模板焊接到外框11上，如图2所示为传统蒸镀用掩膜组件平面结构示意图，是将掩模板10焊接到外框11上的平面结构示意图，20为焊点。由于掩模板受到自身重力的影响，会产生下垂，导致掩膜组件整体结构发生变形，进而引起掩模图案101的变形，从而影响到蒸镀的质量，如图3所示为传统蒸镀用掩膜组件因掩模板下垂导致掩模组件变形的平面结构示意图。有鉴于此，有必要提出一种掩膜组件，以克服掩模板下垂导致掩模板上的掩模图案变形的问题，提闻蒸锻质量，进而提闻OLED显不器的质量。
技术实现思路
有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本技术提供了一种蒸镀用掩模组件，包括外框、若干数量的支撑，其特征在于:所述外框为两组对边形成的中空四边形结构，所述外框包括蒸镀面和掩模板安装面，所述蒸镀面为所述外框面对蒸镀源的一面，所述掩模板安装面为所述外框背离蒸镀源的一面；所述支撑数量大于等于1，所述支撑跨过所述外框中空区域且两端分别固定安装在所述外框一组对边上。根据本技术
技术介绍
中对现有技术所述，如图1-3所示，由于掩模板受到自身重力的影响，会产生下垂，导致掩膜组件整体结构发生变形，进而引起掩模图案的变形，从而影响到蒸镀的质量；而采用本技术的蒸镀用掩模组件在使用过程中，由于所述支撑具有中间凸起两端低的弯曲结构特征，在掩模板受到自身重力作用出现下垂时，所述支撑能够具有良好的支撑作用，凸起部分能够对下垂起到补偿的作用，使掩模板在蒸镀过程中呈平整状态，而弯曲的各项参数则需要实验来具体确定。另外，根据本技术公开的蒸镀用掩模组件还具有如下附加技术特征: 进一步地，所述支撑为中间凸起两端低的弯曲结构。进一步地，所述外框和所述支撑是一体成型结构或拼接结构。所述外框和所述支撑可以是使用机械加工或铸造等方法形成一体结构，所述外框和所述支撑也可以是独立个体，两者拼接形成的整体。进一步地，所述外框是两组对边拼接结构或一体成型结构。拼接结构可以使整体设计结构更加简单，但安装过程中，则可能造成精度上的损失。进一步地，所述蒸镀面开口形状和所述掩模板安装面开口形状相似，且所述蒸镀面开口形状尺寸大于所述掩模板安装面开口形状尺寸。优选地，联接所述蒸镀面与所述掩模板安装面之间为斜面或过渡曲面。进一步地,所述支撑横截面为一端大于另一端的一端小一端大结构，小端与大端之间为斜线段或过渡曲线。。在所述支撑靠近蒸镀源的一侧尺寸小于远离蒸镀源一侧的尺寸，这样在蒸镀工序中可以避免蒸镀源的遮蔽现象，提高蒸镀质量。进一步地，所述外框放置所述支撑的一组对边上有缺口，所述支撑安装在所述缺口中。 缺口的增加可以使所述支撑更加稳固。进一步地，所述蒸镀用掩模组件还包括掩模板，所述掩模板是整体一块或是数量大于等于I的可分拆组合的掩模板单元构成。本技术还提供了一种采用所述蒸镀用掩模组件的掩模板安装方法，包括:SI绷网定位:将掩模板进行绷网，并根据所述掩模板与所述蒸镀用掩膜组件的尺寸进行定位，以获得合格的产品；所述掩模板包括掩模图案，所述掩模图案透过所述外框与所述支撑形成的中空区域，避免蒸镀材料被遮挡。S2安装:将所述掩模板固定联接在所述蒸镀掩膜组件上。进一步地，所述掩模板是一整块掩模板，将所述掩模板整体固定联接在所述外框和所述支撑上；或是一组掩模板单元构成的掩模板，将与所述外框对应的外侧掩模板单元与所述外框对应的对边和所述支撑固定联接，将与所述外框对应的内侧掩模板单元与所述支撑固定联接。进一步地，所述固定联接方式是焊接联接结构或粘结联接结构。本技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明本技术的上述和/或附加的方面和优点从以下结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:图1为传统蒸镀用掩模组件的组装示意图；图2为传统蒸镀用掩膜组件平面结构示意图； 图3为传统蒸镀用掩膜组件因掩模板下垂导致掩模组件变形的平面结构示意图；图4为掩模框整体结构示意图；图5为掩模框面向蒸镀源一面的平面结构示意图；图6为将掩模板焊接到掩模框上的平面结构示意图；图7所示为一种掩模组件组装示意图；图8所示为一种掩模组件的平面结构示意图；图9所示为支撑形变补偿的平面结构示意图；图10所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图；图11所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图；图12所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图；图13所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图；图14所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图；图1中，10为掩模板，11为外框，101为掩模板上的掩模图案；图2中，20为焊点；图4中，40为掩模框，401为支撑，41为掩模板安装面，402为外框；图5中，50为蒸镀面,50'为倾斜面；图6中，60为掩模板，601为掩模图案，61为焊点；图7中，70、71为掩模单元，701为掩模图案； 图8中，80为掩模部之间的缝隙；图9中，A-A为待解剖方向，90为与掩模板焊接的一面，91为朝向蒸镀源的一侧，91'为倾斜面；图10中，9Γ为朝向蒸镀源的倾斜面；具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能解释为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“联接”、“连通”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，一体地连接，也可以是可拆卸连接；可以是两个元件内部的连通；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀用掩模组件，包括外框、若干数量的支撑，其特征在于：所述外框为两组对边形成的中空四边形结构，所述外框包括蒸镀面和掩模板安装面,所述蒸镀面为所述外框面对蒸镀源的一面，所述掩模板安装面为所述外框背离蒸镀源的一面；所述支撑数量大于等于1，所述支撑跨过所述外框中空区域且两端分别固定安装在所述外框一组对边上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：魏志凌，高小平，张炜平，
申请(专利权)人：昆山允升吉光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：