自动光学检测设备制造技术

本发明专利技术提供一种自动光学检测设备，由双驱移动Y轴带动检测工件平台做Y方向的运动，由单驱移动X轴带动相机组件做X方向运动，优选由滚珠丝杠结构带动相机组件做Z方向的运动，XYZ三轴的合成运动完成空间三维运动。主要用于检测金属掩膜板、太阳能丝网等表面具有细微缺陷的片材，用于填补市面上的空白。

Automatic optical testing equipment

The invention provides an automatic optical detection device, which is driven by a dual drive Y axis to detect the movement of the workpiece platform in the direction of Y. The camera component is driven by a single drive X axis to move the X direction, and the ball screw structure is preferred to drive the camera component in the direction of the Z direction, and the three-dimensional motion of the space is completed by the synthetic motion of the XYZ three axis. Mainly used to detect metal mask, solar screen and other surface with fine defects of the sheet, used to fill the market gap.

【技术实现步骤摘要】
自动光学检测设备
本专利技术属于半导体领域，具体涉及一种网板的自动光学检测设备。
技术介绍
在金属掩膜板和太阳能丝网制作过程中，金属掩膜板和太阳能丝网上会制作有很多微小的开口，而制造工艺及环境的影响会造成在制造过程中产生具有瑕疵的开口，此类开口为可修复的缺陷，若能通过检测设备检测到缺陷并对其进行修复就可以提高产品的良率。目前市面上用于检测网板开口瑕疵的检测设备的检测精度大都不高，很难达到检测金属掩膜板和太阳能丝网缺陷的要求，且该检测方法一直没有得到有效的进展。
技术实现思路
基于以上，本专利技术提供一种自动光学检测设备，主要用于检测金属掩膜板、太阳能丝网等表面具有细微缺陷的片材，本设备的检测可以精确到10μm及以下，用于填补市面上的空白。其具体技术方案如下：一种自动光学检测设备，包括承载单元、移动检测单元和控制系统，其特征在于，所述移动检测单元固定在所述承载单元上；所述承载单元包括基台、工件台、Y轴导轨和直线电机，所述工件台用于承载片材，所述工件台活动的设置在所述Y轴导轨上并可在Y轴导轨进行Y轴方向的运动，从而将片材从初始位置匀速运至检测位置；所述移动检测单元包括横梁和检测轴，所述检测轴用来实现片材的检测工作，所述检测轴活动的设置在所述横梁上，并在所述横梁上进行X轴方向的运动；所述控制系统用于控制整个设备的运行过程，并对所述移动检测单元检测片材的结果进行分析处理。进一步，所述Y轴导轨固定在所述基台上，所述直线电机位于所述Y轴导轨的一侧也固定的设置在所述基台上；所述工件台通过Y轴动板活动的设置在所述Y轴导轨和所述直线电机的上方，并可随所述Y轴动板在所述Y轴导轨上进行Y轴方向的运动，所述直线电机为所述Y轴动板的运动提供动力。进一步，所述横梁上设置有X轴导轨、X轴电机，所述检测轴通过X轴动板活动的设置在所述X轴导轨上并可随所述X轴动板在所述X轴导轨上进行X轴方向的运动，所述X轴电机为所述X轴动板的运动提供动力；所述横梁上还设置有拖链，用于走线。进一步，所述检测轴通过Z轴基板固定在所述X轴动板上，所述检测轴包括Z轴动板、线阵相机、面相机、线扫光源；所述Z轴动板活动的设置在所述Z轴基板上，并相对Z轴基板进行Z轴方向的运动；所述线阵相机固定在所述Z轴动板上，所述线扫光源设置在所述线阵相机下方，所述线扫光源为所述线阵相机提供光源，所述线阵相机用来逐行检测片材上的开口，并将检测结果传送至控制系统分析；所述面相机位于所述线阵相机的一侧也固定的设置在所述Z轴动板上，针对所述线阵相机扫描检测出来的片材上的缺陷开口部位，所述面相机可对其进行精确的二次检测。进一步，所述基台上还设置有钣金支架和Y轴遮挡板，所述钣金支架位于所述基台的两侧面且凸出于基台，其中一侧的所述钣金支架上方固定有无杆气缸，所述无杆气缸包括活塞滑块和缸筒，另一侧的所述钣金支架上设有支撑杆，所述Y轴遮挡板一端通过连接板固定在所述无杆气缸的活塞滑块上，另一端通过滚轮在所述支撑杆上随动，所述Y轴遮挡板可随所述活塞滑块在所述缸筒上进行Y轴方向的运动，从而实现对所述Y轴遮挡板下方的所述工件台起遮挡保护作用。进一步，所述基台的两侧面固定有横梁支架，所述横梁通过所述横梁支架固定在所述基台上。进一步，所述控制系统包括电脑组件，用于分析处理所述检测轴扫描检测片材后的数据。进一步，所述光学检测设备还包括外框，所述外框为金属外框，用于保护支撑所述承载单元和所述移动检测单元。本专利技术的自动光学检测设备由双驱移动Y轴带动检测工件平台做Y方向的运动，由单驱移动X轴带动相机组件做X方向运动，优选由滚珠丝杠结构带动相机组件做Z方向的运动，XYZ三轴的合成运动完成空间三维运动。检测工件平台由带吸附孔钢化玻璃组成，可以检测通孔孔径大小及缺陷。同时本专利技术自动光学检测设备的外框部分采用自动移门机构，用于切换检测时门开关动作，双按钮联动控制以保证门开关的安全性。本专利技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1所示为自动光学检测设备内部整体示意图；图2所示为自动光学检测设备外部整体示意图；其中，1为基台，11为钣金支架，12为横梁支架，2为工件台，21为Y轴导轨，22为直线电机，3为横梁，31为X轴电机，32为X轴导轨，33为X轴动板，34为拖链，4为Z轴基板，41为Z轴动板，42为线阵相机，43为线扫光源，44为面相机，5为Y轴遮挡板，51为无杆气缸，6为片材,7为显示器，8为控制键盘。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能解释为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”、“横”、“竖”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。如图1自动光学检测设备，包括承载单元、移动检测单元和控制系统，其特征在于，承载单元包括基台1、工件台2、Y轴导轨21和直线电机22，工件台2用于承载片材6，工件台2活动的设置在Y轴导轨21上并可在Y轴导轨21进行Y轴方向的运动，从而将片材6从初始位置匀速运至检测位置；所述移动检测单元包括横梁3和检测轴，检测轴用来实现片材6的检测工作，检测轴活动的设置在横梁3上，并在横梁3上进行X轴方向的运动；所述移动检测单元固定在所述承载单元的所述基台1上；本专利技术中，控制系统并没有完全进行展示，如图2中所展示的显示器7及控制键盘8是构成控制系统的一部分，但控制系统的构成并不局限于此，其还包括未展示出来的各种控制机构（鉴于不影响本专利技术的理解，故在此不作具体展开），整个自动光学检测设备的运行过程均在控制系统的控制下完成，同时控制系统能够分析处理检测轴扫描片材6后的数据。进一步如图1所示，Y轴导轨21固定在所述基台1上，所述直线电机22位于Y轴导轨21的一侧也固定的设置在基台1上；工件台2通过Y轴动板活动的设置在Y轴导轨21和直线电机22的上方，并可随Y轴动板在所述Y轴导轨21上进行Y轴方向的运动，直线电机22为所述Y轴动板的运动提供动力，所述Y轴动板并未在附图中示出，但是可以理解的是可以将工件台2固定并能活动的设置在Y轴导轨21和直线电机22上的连接装置均适用于本专利技术，可根据实际需要进行选择。初始状态时将待检测的片材6放置在工件台2上吸附固定平整，然后随工件台2在Y轴导轨21上匀速的运动至检测位置，即运动至检测轴的正下方，此处直线电机22和Y轴导轨21的设计能进一步精确地控制工件台2运动的速度和停留的位置，并可以通过光栅尺进行定位，从而极大的提高检测轴对片材6的扫面精度，避免漏扫、漏检的情况发生。进一步，所述横梁3上设置有X轴导轨32、X轴电机31，所述检测轴通过X轴动板33活动的设置在所述X轴导轨32上并可随所述X轴动板33在所述X轴导轨32上进行X本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动光学检测设备，包括承载单元、移动检测单元和控制系统，其特征在于，所述移动检测单元固定在所述承载单元上；所述承载单元包括基台、工件台、Y轴导轨和直线电机，所述工件台用于承载片材，所述工件台活动的设置在所述Y轴导轨上并可在Y轴导轨进行Y轴方向的运动，从而将片材从初始位置匀速运至检测位置；所述移动检测单元包括横梁和检测轴，所述检测轴用来实现片材的检测工作，所述检测轴活动的设置在所述横梁上，并在所述横梁上进行X轴方向的运动；所述控制系统用于控制整个设备的运行过程，并对所述移动检测单元检测片材的结果进行分析处理。

【技术特征摘要】
1.一种自动光学检测设备，包括承载单元、移动检测单元和控制系统，其特征在于，所述移动检测单元固定在所述承载单元上；所述承载单元包括基台、工件台、Y轴导轨和直线电机，所述工件台用于承载片材，所述工件台活动的设置在所述Y轴导轨上并可在Y轴导轨进行Y轴方向的运动，从而将片材从初始位置匀速运至检测位置；所述移动检测单元包括横梁和检测轴，所述检测轴用来实现片材的检测工作，所述检测轴活动的设置在所述横梁上，并在所述横梁上进行X轴方向的运动；所述控制系统用于控制整个设备的运行过程，并对所述移动检测单元检测片材的结果进行分析处理。2.根据权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，所述Y轴导轨固定在所述基台上，所述直线电机位于所述Y轴导轨的一侧也固定的设置在所述基台上；所述工件台通过Y轴动板活动的设置在所述Y轴导轨和所述直线电机的上方，并可随所述Y轴动板在所述Y轴导轨上进行Y轴方向的运动，所述直线电机为所述Y轴动板的运动提供动力。3.根据权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，所述横梁上设置有X轴导轨、X轴电机，所述检测轴通过X轴动板活动的设置在所述X轴导轨上并可随所述X轴动板在所述X轴导轨上进行X轴方向的运动，所述X轴电机为所述X轴动板的运动提供动力；所述横梁上还设置有拖链，用于走线。4.根据权利要求3所述的光学检测设备，其特征在于，所述检测轴通过Z轴基板固定在所述X轴动板上，所述检测轴包括Z轴动板、线阵相机、面相机、线扫光源；所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏志凌，王武怀，孙杰，
申请(专利权)人：昆山允升吉光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32