单位掩模、掩模组件及制造有机发光二极管显示器的方法技术

本发明专利技术提供了单位掩模、掩模组件及制造有机发光二极管显示器的方法。单位掩模沿一个方向延伸并由包括开口的框架支撑。单位掩模包括：第一固定部件，位于开口中并固定到沿所述一个方向设置的框架的一个表面；第二固定部件，与第一固定部件间隔开并固定到沿所述一个方向设置的框架的另一个表面；以及掩模部件，被第一固定部件和第二固定部件保持在第一固定部件和第二固定部件之间。

【技术实现步骤摘要】
单位掩模、掩模组件及制造有机发光二极管显示器的方法
所描述的技术通常涉及一种由框架支撑的单位掩模以及一种掩模组件。
技术介绍
平板显示器的示例包括有机发光二极管（OLED）显示器、液晶显示器（LCD）以及等离子体显示面板（PDP）。为了制造OLED显示器，一般需要以特定图案形成电极并形成发射层。可利用使用掩模组件的沉积法来形成电极和发射层。常规的掩模组件通常包括具有开口的框架和多个呈带形的单位掩模。每个单位掩模的两端与开口对应地延伸并被固定到框架上。单位掩模可包括与OLED显示器的像素相对应的图案化开口，从而可在母基板上制造OLED显示器。每个单位掩模的图案化开口可对应于单个OLED显示器，并以与将形成在OLED显示器中的电极或发射层相对应的形状形成。当需要高清晰度的OLED显示器时，在单位掩模中形成精细的图案化开口。为了达到上述目的，需要使单位掩模非常薄（μm，微米级），从而防止因沉积过程的特性造成的意料不到的沉积失误。然而，当单位掩模变得非常薄时，会难以将单位掩模的两端焊接到框架上以使单位掩模固定到框架上。而且，当单位掩模非常薄时，由于单位掩模的两端延伸并被固定到框架，所以单位掩模会下垂穿过开口，或者单位掩模会因施加到单位掩模的张力而变形。在本
技术介绍
部分中公开的上述信息仅用于加强对所描述的技术的背景的理解，因此上述信息可包含不构成在本国本领域普通技术人员已知的现有技术的一部分。
技术实现思路
所描述的技术致力于提供一种具有在制造高清晰度的OLED显示器时提高沉积可靠性的优点的单位掩模和掩模组件。本专利技术的第一方面提供一种沿一个方向延伸并由包括开口的框架支撑的单位掩模，所述单位掩模包括：第一固定部件，位于开口中并固定到沿所述一个方向设置的框架的一个表面；第二固定部件，与第一固定部件间隔开并固定到沿所述一个方向设置的框架的另一个表面；以及掩模部件，由第一固定部件和第二固定部件保持在第一固定部件和第二固定部件之间。掩模部件可沿与所述一个方向垂直的方向比第一固定部件和第二固定部件薄。第一固定部件可包括弯曲并向下延伸穿过开口的第一弯曲延伸部，第二固定部件可包括弯曲且向下延伸穿过开口的第二弯曲延伸部，掩模部件可包括：主体，沿所述一个方向延伸；第一面对部件，弯曲并从主体延伸穿过开口并面对第一弯曲延伸部；以及第二面对部件，弯曲并从主体延伸穿过开口并面对第二弯曲延伸部。单位掩模还可包括：第一块体，位于框架和第一弯曲延伸部之间并接触第一弯曲延伸部；第二块体，面对第一块体并接触第一面对部件，第一弯曲延伸部和第一面对部件设置在第一块体和第二块体之间。第二块体可沿与所述一个方向垂直的方向比第一块体厚。单位掩模还可包括：第三块体，位于第一弯曲延伸部和第一面对部件之间并接触第一弯曲延伸部和第一面对部件。单位掩模还可包括：第一紧固件，穿过第一弯曲延伸部、第一块体、第一面对部件和第二块体，以紧固第一弯曲延伸部、第一块体、第一面对部件和第二块体。第一块体的与第一弯曲延伸部接触的表面和第二块体的与第一面对部件接触的表面可具有不平坦的形状。第一块体的与第一弯曲延伸部接触的表面、第二块体的与第一面对部件接触的表面以及第三块体的与第一弯曲延伸部和第一面对部件接触的表面可具有不平坦的形状。第二块体的不平坦的表面可与掩模部件的主体间隔开。第一弯曲延伸部可具有与第一块体的不平坦的表面相对应的不平坦的形状，第一面对部件可具有与第二块体的不平坦的表面相对应的不平坦的形状。第一弯曲延伸部可接触第一面对部件。单位掩模还可包括：第四块体，位于框架和第二弯曲延伸部之间并接触第二弯曲延伸部；第五块体，面对第四块体并接触第二面对部件，第二弯曲延伸部和第二面对部件位于第四块体和第五块体之间。单位掩模还可包括：第六块体，位于第二弯曲延伸部和第二面对部件之间并接触第二弯曲延伸部和第二面对部件。单位掩模还可包括：第二紧固件，穿过第二弯曲延伸部、第四块体、第二面对部件和第五块体，以紧固第二弯曲延伸部、第四块体、第二面对部件和第五块体。本专利技术的第二方面提供一种掩模组件，其包括：框架，包括开口；以及单位掩模，沿一个方向延伸并由框架支撑。本专利技术的第三方面提供一种制造OLED显示器的方法，其包括：以特定图案形成电极；以及使用掩模组件通过沉积在基板上形成发射层。掩模组件可包括与OLED显示器的像素相对应的图案化开口。根据特定的实施例，在制造高清晰度的OLED显示器时，可以提供具有提高的沉积可靠性的单位掩模和掩模组件。附图说明图1是根据第一实施例的掩模组件的剖视图。图2是示出根据第二实施例的掩模组件的一部分的剖视图。图3是示出根据第三实施例的掩模组件的一部分的剖视图。具体实施方式在下文中将参照附图更充分地描述本专利技术，在附图中示出了本专利技术的某些实施例。如本领域技术人员会认识到的，在不脱离本专利技术的精神或范围的情况下，可以以各种方式修改描述的实施例。附图和描述将被视为本质上是说明性的而非限制性的。在整个说明书中，相同的标号通常表示相同的元件。在公开的实施例中，相同的标号将被用于表示相同或相似的部件。将第一实施例作为代表性实施例进行描述，并且将只对其它实施例的与第一实施例不同的部件进行描述。在附图中，为了清楚并便于描述，可夸大、省略或示意性地示出组件的尺寸和厚度。另外，构成元件的尺寸不用完全反映其实际尺寸。在附图中，为了清晰起见，会夸大层、膜、面板、区域等的厚度。另外，为了更好地理解并便于描述，会夸大一些层和区域的厚度。应该理解的是，在下面对实施例进行的描述中，当诸如层（膜）、区域、图案或结构的元件被称为“在”另一个元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”在另一元件上或下，或者可以以还存在中间元件的形式“间接地”形成。另外，应当对诸如“在·····上”或“在·····下”的术语基于附图进行理解。另外，除非明确地相反描述，否则词语“包括”及其变型形式将被理解为意指包括所述元件但不排除任何其它元件。此外，这里可使用表述“在·····上”或“在·····下”来表示如在图中所示的一个元件与另一元件的关系。将理解的是，该表述意图包含除了图中描绘的方位之外的上述元件的不同方向，即，既包含“在·····上”又包含“在·····下”。将参照图1描述根据第一实施例的掩模组件。图1是根据第一实施例的掩模组件的剖视图。如图1所示，根据第一实施例的掩模组件1000包括框架100和单位掩模200。框架100固定并支撑单位掩模200的两端，并且包括暴露单位掩模200的开口110。框架100包括一对在单位掩模200延伸所沿的一个方向（X方向）上彼此面对的支撑件120和一对在垂直于上述方向（X方向）的方向上彼此面对的另外的支撑件（未示出），所具有的开口110设置在支撑件120之间以及另外的支撑件之间。支撑件120支撑单位掩模200的两端。在根据第一实施例的掩模组件1000的框架100中，支撑件120可形成可具有长方形形状的框架100的长边且另外的支撑件（未示出）可形成框架100的短边。可选择地，掩模组件的框架可具有多边形或圆形形状。当张力被施加到单位掩模200时，固定到框架100的单位掩模200由框架100支撑。由于收缩力沿根据对单位掩模200施加张力使单位掩模200延伸的方向进行作用，因此可由具有高硬度的金属（本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单位掩模，所述单位掩模沿一个方向延伸并由包括开口的框架支撑，所述单位掩模包括：第一固定部件，位于开口中并固定到沿所述一个方向设置的框架的一个表面；第二固定部件，与第一固定部件间隔开并固定到沿所述一个方向设置的框架的另一个表面；以及掩模部件，被第一固定部件和第二固定部件保持在第一固定部件和第二固定部件之间，其中，第一固定部件包括弯曲且向下延伸穿过开口的第一弯曲延伸部，其中，掩模部件包括：主体，沿所述一个方向延伸；以及第一面对部件，弯曲并从主体延伸穿过开口并面对第一弯曲延伸部。

【技术特征摘要】
2012.11.20 KR 10-2012-01318671.一种单位掩模，所述单位掩模沿一个方向延伸并由包括开口的框架支撑，所述单位掩模包括：第一固定部件，位于开口中并固定到沿所述一个方向设置的框架的一个表面；第二固定部件，与第一固定部件间隔开并固定到沿所述一个方向设置的框架的另一个表面；以及掩模部件，被第一固定部件和第二固定部件保持在第一固定部件和第二固定部件之间，其中，第一固定部件包括弯曲且向下延伸穿过开口的第一弯曲延伸部，其中，掩模部件包括：主体，沿所述一个方向延伸；以及第一面对部件，弯曲并从主体延伸穿过开口并面对第一弯曲延伸部。2.根据权利要求1所述的单位掩模，其中，掩模部件沿与所述一个方向垂直的方向比第一固定部件和第二固定部件薄。3.根据权利要求1所述的单位掩模，其中，第二固定部件包括弯曲且向下延伸穿过开口的第二弯曲延伸部，其中，掩模部件还包括：第二面对部件，弯曲并从主体延伸穿过开口并面对第二弯曲延伸部。4.根据权利要求1所述的单位掩模，所述单位掩模还包括：第一块体，位于框架和第一弯曲延伸部之间并接触第一弯曲延伸部；以及第二块体，面对第一块体并接触第一面对部件，第一弯曲延伸部和第一面对部件设置在第一块体和第二块体之间。5.根据权利要求4所述的单位掩模，其中，第二块体沿与所述一个方向垂直的方向比第一块体厚。6.根据权利要求4所述的单位掩模，所述单位掩模还包括：第三块体，位于第一弯曲延伸部和第一面对部件之间并接触第一弯曲延伸部和第一面对部件。7.根据权利要求4所述的单位掩模，所述单位掩模还包括：第一紧固件，穿过第一弯曲延伸部、第一块体、第一面对部件和第二块体，以紧固第一弯曲延伸部、第一块体、第一面对部件和第二块体。8...

【专利技术属性】
技术研发人员：李相信，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR