具有深沟槽隔离的多个发光单元的大尺寸LED芯片制造技术

技术编号:9213317 阅读:274 留言:0更新日期:2013-09-27 00:47
本实用新型专利技术提供具有深沟槽隔离的多个发光单元的大尺寸LED芯片,其中,每个发光单元从下至上顺次包括衬底、缓冲层、n型半导体材料、多量子阱发光层、p型半导体材料、电流扩展层和钝化层,覆盖于发光单元除电极外的表面,发光单元之间的隔离沟槽填充有绝缘材料,发光单元之间的连接桥位于所述绝缘材料上方。本实用新型专利技术提高了电极桥接的良率,适用于横截面为矩形、正梯形或倒梯形的发光单元结构,特别适用于具有高深宽比隔离沟槽的大尺寸LED芯片。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
具有深沟槽隔离的多个发光单元的大尺寸LED芯片,每个发光单元从下至上顺次包括衬底、缓冲层、n型半导体材料、多量子阱发光层、p型半导体材料、电流扩展层和钝化层,覆盖于发光单元除电极外的表面,其特征在于发光单元之间的隔离沟槽填充有绝缘材料,发光单元之间的连接桥位于所述绝缘材料上方。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄华茂王洪蔡鑫王俊杰
申请(专利权)人:华南理工大学
类型:实用新型
国别省市:

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