一种氧化物薄膜晶体管阵列基板及显示面板制造技术

本实用新型专利技术实施例提供了一种氧化物薄膜晶体管阵列基板及显示面板，该Oxide?TFT的生产工艺简单，制作成本较低。该阵列基板包括：基板；在所述基板上设置有由栅金属层薄膜形成的包括栅线和栅极图形；在设置有所述栅线和栅极的基板上，设置有由栅绝缘层薄膜、氧化物有源层薄膜和刻蚀阻挡层薄膜依次形成的包括栅绝缘层、氧化物有源层和刻蚀阻挡层的图形；在设置有所述栅绝缘层、氧化物有源层和刻蚀阻挡层的基板上，还设置有包括数据线、源极、漏极和像素电极图形，所述源极与所述数据线连接，所述漏极与所述像素电极相连。本实用新型专利技术实施例适用于显示技术领域。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种氧化物薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，所述阵列基板包括：?基板；?在所述基板上设置有由栅金属层薄膜形成的包括栅线和栅极的图形；?在设置有所述栅线和栅极的基板上，设置有由栅绝缘层薄膜、氧化物有源层薄膜和刻蚀阻挡层薄膜依次形成的包括栅绝缘层、氧化物有源层和刻蚀阻挡层的图形；?在设置有所述栅绝缘层、氧化物有源层和刻蚀阻挡层的基板上，还设置有包括数据线、源极、漏极和像素电极的图形，所述源极与所述数据线连接，所述漏极与所述像素电极相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙双，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：