真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构制造技术

技术编号:9207793 阅读:117 留言:0更新日期:2013-09-26 19:17
本实用新型专利技术公开一种真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构,包括磁铁组件、磁铁固定座、挡板轴和调节轮转动轴,磁铁组件设于磁铁固定座中部,磁铁固定座嵌入真空镀膜室的容器壁,磁铁固定座内,挡板轴和调节轮转动轴分别设于磁铁组件的两侧,挡板轴的外端与挡板固定连接,调节轮转动轴的外端与调节轮固定连接。本真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构中,采用磁铁固定座内的径向隔板进行密封,然后在径向隔板的两侧通过磁铁组件进行动力传动,径向隔板与磁铁固定座为一体结构,可克服现有挡板机构采用独立密封圈所造成的温度高易变形的现象,有效改善其密封效果,使该挡板机构可较好地应用于真空度要求较高的真空镀膜室。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构,其特征在于,包括磁铁组件、磁铁固定座、挡板轴和调节轮转动轴,磁铁组件设于磁铁固定座中部,磁铁固定座嵌入真空镀膜室的容器壁,磁铁固定座内,挡板轴和调节轮转动轴分别设于磁铁组件的两侧,挡板轴的外端与挡板固定连接,调节轮转动轴的外端与调节轮固定连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:朱刚劲朱刚毅朱文廓
申请(专利权)人:肇庆市腾胜真空技术工程有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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