【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构,其特征在于,包括磁铁组件、磁铁固定座、挡板轴和调节轮转动轴,磁铁组件设于磁铁固定座中部,磁铁固定座嵌入真空镀膜室的容器壁,磁铁固定座内,挡板轴和调节轮转动轴分别设于磁铁组件的两侧,挡板轴的外端与挡板固定连接,调节轮转动轴的外端与调节轮固定连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:朱刚劲,朱刚毅,朱文廓,
申请(专利权)人:肇庆市腾胜真空技术工程有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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