一种用于真空镀膜设备的观察窗制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空镀膜设备的观察窗，包括观察窗主体和设在所述观察窗主体上的观察孔，所述观察孔内设有透光玻璃，还包括调光玻璃、保护膜和主动轴，所述观察窗本体上设有安装所述主动轴的孔，所述主动轴穿过所述孔与所述观察窗主体密封连接；所述调光玻璃设置在所述透光玻璃的外侧即所述透光玻璃背离真空镀膜机腔体的一侧，所述保护膜设置在所述透光玻璃的内侧即所述透光玻璃靠近真空镀膜机腔体的一侧。本实用新型专利技术中保护膜的调整及透光度的调整随时可以进行，保证了镀膜的顺利进行；采用保护膜可以大大延长观察窗的维护周期，并节约费用。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种机械制造领域的机械结构，尤其是适用于一种用于真空镀膜设备的观察窗。
技术介绍
在真空镀膜时，需要通过观察窗观察电子枪蒸发源温度分布情况。电子枪的扫描强度不同，需要有不同的透光率。镀膜时，蒸发源材料也会沉积在观察窗上，随着沉积层加厚，透光率减小，因此必须定期更换观察窗，这样成本较高且影响了正常生产。
技术实现思路
为了克服现有技术中镀膜时观察窗的透光率会减小的问题，本技术提供一种用于真空镀膜设备的观察窗。本技术采用的技术方案是一种用于真空镀膜设备的观察窗，包括观察窗主体和设在所述观察窗主体上的观察孔，所述观察孔内设有透光玻璃，其特征在于还包括调光玻璃、保护膜和主动轴，所述观察窗本体上设有安装所述主动轴的孔，所述主动轴穿过所述孔与所述观察窗主体密封连接；所述调光玻璃设置在所述透光玻璃的外侧即所述透光玻璃背离真空镀膜机腔体的一侧，所述保护膜设置在所述透光玻璃的内侧即所述透光玻璃靠近真空镀膜机腔体的一侧。在透光玻璃的外侧设置调光玻璃，操作人员根据真空腔体内电子枪扫描的强度不同，调整调光玻璃选择不同的透光率，使操作人员既能看清电子枪扫描状态，又不会因光线太亮而损坏操作人员的视力；挡在透光玻璃内侧的保护膜可以保护透光玻璃，避免真空腔体内的蒸发材料沉积到透光玻璃上，当保护膜使用一段时间被沉积上一层蒸发材料后，操作人员通过主动轴将保护膜卷绕一段，进行保护膜更新。进一步，所述透光玻璃的内侧设有隔离板和固定片，所述隔离板与所述观察窗主体固定连接并在所述透光玻璃的内侧形成隔离腔，所述固定片与所述隔离板固定连接，在所述隔离板、所述固定片与所述观察孔相吻合的位置设有通孔。在透光玻璃内侧设置隔离板和固定片，可以将真空腔体与透光玻璃隔开，防止透光玻璃受到蒸发物污染。进一步，所述固定片与所述隔离板相接的一侧设有用于固定所述保护膜的槽；所述保护膜的一端卷绕并活动连接在所述固定片上，所述保护膜的另一端穿过所述槽卷绕在所述主动轴上。在隔离板与固定片之间设置固定保护膜的槽，可以使保护膜紧贴隔离板上的孔，更好地保护透光玻璃。进一步，所述观察窗主体的内侧设有可以保证保护膜顺利进入槽而不被损坏的紧贴所述隔离板的弹簧。在保护膜进入槽前就通过弹簧使之与隔离板紧贴，可以保证保护膜顺利进入槽而不被损坏。进一步，所述调光玻璃通过固定架和螺钉固定在所述观察窗本体的外侧。进一步，所述调光玻璃和所述固定架之间设有压紧环。进一步，所述观察窗本体的外侧设置有用于透光调整的第一旋钮和用于卷绕所述保护膜的第二旋钮，所述第二旋钮与所述主动轴相连，可使所述保护膜横向移动。本技术镀膜时，蒸发材料沉积在所述保护膜上，当保护膜的透光度差到不能看清电子枪内的蒸发源温度时，通过第二旋钮旋转主动轴拉动保护膜，一段没有沉积物的保护膜覆盖在透光玻璃上。本技术的有益效果体现在能方便地调整透光率，对透光玻璃具有保护功能;保护膜的调整及透光度的调整随时可以进行，保证了镀膜的顺利进行；采用保护膜可以大大延长观察窗的维护周期，并节约费用。附图说明图I是本技术观察窗外侧整体结构示意图。图2是本技术观察窗内侧整体结构示意图。具体实施方式参照图I和图2，一种用于真空镀膜设备的观察窗，包括观察窗主体I和设在所述观察窗主体I上的观察孔2，所述观察孔2内设有透光玻璃3，还包括调光玻璃5、保护膜11和主动轴4，所述观察窗本体I上设有安装所述主动轴4的孔，所述主动轴4穿过所述孔与所述观察窗主体I密封连接；所述调光玻璃5设置在所述透光玻璃3的外侧即所述透光玻璃背离真空镀膜机腔体的一侧，所述保护膜11设置在所述透光玻璃3的内侧即所述透光玻璃靠近真空镀膜机腔体的一侧。进一步，所述透光玻璃3的内侧设有隔离板12和固定片13，所述隔离板12与所述观察窗主体I固定连接并在所述透光玻璃3的内侧形成隔离腔，所述固定片13与所述隔离板12固定连接，在所述隔离板12、所述固定片13与所述观察孔2相吻合的位置设有通孔。进一步，所述固定片13与所述隔离板12相接的一侧设有用于固定所述保护膜11的槽15 ;所述保护膜11的一端卷绕并活动连接在所述固定片13上，所述保护膜11的另一端穿过所述槽15卷绕在所述主动轴4上。进一步，所述调光玻璃5通过固定架6和螺钉8固定在所述观察窗本体I的外侧。进一步，所述观察窗主体I的内侧设有可以保证保护膜11顺利进入槽15而不被损坏的紧贴所述隔离板12的弹簧14。进一步，所述调光玻璃5和所述固定架6之间设有压紧环7。进一步，所述观察窗本体I的外侧设置有用于透光调整的第一旋钮9和用于卷绕所述保护膜11的第二旋钮10，所述第二旋钮10与所述主动轴4相连，可使所述保护膜11横向移动。本技术镀膜时，蒸发材料沉积在所述保护膜11上，当保护膜11的透光度差到不能看清电子枪内的蒸发源温度时，通过第二旋钮10旋转主动轴4拉动保护膜，一段没有沉积物的保护膜覆盖在透光玻璃5上。本说明书实施例所述的内容仅仅是对专利技术构思的实现形式的列举，本技术的保护范围的不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式，本技术的保护范围也及于本领域技术人员根据本专利技术构思所能够想到的等同技术手段。权利要求1.一种用于真空镀膜设备的观察窗，包括观察窗主体和设在所述观察窗主体上的观察孔，所述观察孔内设有透光玻璃，其特征在于还包括调光玻璃、保护膜和主动轴，所述观察窗本体上设有安装所述主动轴的孔，所述主动轴穿过所述孔与所述观察窗主体密封连接；所述调光玻璃设置在所述透光玻璃的外侧即所述透光玻璃背离真空镀膜机腔体的一侧，所述保护膜设置在所述透光玻璃的内侧即所述透光玻璃靠近真空镀膜机腔体的一侧。2.如权利要求I所述的一种用于真空镀膜设备的观察窗，其特征在于所述透光玻璃的内侧设有隔离板和固定片，所述隔离板与所述观察窗主体固定连接并在所述透光玻璃的内侧形成隔离腔，所述固定片与所述隔离板固定连接，在所述隔离板、所述固定片与所述观察孔相吻合的位置设有通孔。3.如权利要求2所述的一种用于真空镀膜设备的观察窗，其特征在于所述固定片与所述隔离板相接的一侧设有用于固定所述保护膜的槽；所述保护膜的一端卷绕并活动连接在所述固定片上，所述保护膜的另一端穿过所述槽卷绕在所述主动轴上。4.如权利要求3所述的一种用于真空镀膜设备的观察窗，其特征在于所述观察窗主体的内侧设有可以保证保护膜顺利进入槽而不被损坏的紧贴所述隔离板的弹簧。5.如权利要求I或2或3或4所述的一种用于真空镀膜设备的观察窗，其特征在于所述调光玻璃通过固定架和螺钉固定在所述观察窗本体的外侧。6.如权利要求5所述的一种用于真空镀膜设备的观察窗，其特征在于所述调光玻璃和所述固定架之间设有压紧环。7.如权利要求6所述的一种用于真空镀膜设备的观察窗，其特征在于所述观察窗本体的外侧设置有用于透光调整的第一旋钮和用于卷绕所述保护膜的第二旋钮，所述第二旋钮与所述主动轴相连，可使所述保护膜横向移动。专利摘要本技术公开了一种用于真空镀膜设备的观察窗，包括观察窗主体和设在所述观察窗主体上的观察孔，所述观察孔内设有透光玻璃，还包括调光玻璃、保护膜和主动轴，所述观察窗本体上设有安装所述主动轴的孔，所述主动轴穿过所述孔与所述观察窗主体密封连接；所述调光玻璃设置在所述透光玻璃的外侧即所述透光玻璃本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于真空镀膜设备的观察窗，包括观察窗主体和设在所述观察窗主体上的观察孔，所述观察孔内设有透光玻璃，其特征在于：还包括调光玻璃、保护膜和主动轴，所述观察窗本体上设有安装所述主动轴的孔，所述主动轴穿过所述孔与所述观察窗主体密封连接；所述调光玻璃设置在所述透光玻璃的外侧即所述透光玻璃背离真空镀膜机腔体的一侧，所述保护膜设置在所述透光玻璃的内侧即所述透光玻璃靠近真空镀膜机腔体的一侧。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈虹飞，陈军，刘黎明，关永卿，洪婧，田俊杰，汪文忠，邓凤林，郑栋，将卫金，赵山泉，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：