【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种机械制造领域的机械结构，尤其是适用于一种用于真空镀膜设备的观察窗。
技术介绍
在真空镀膜时，需要通过观察窗观察电子枪蒸发源温度分布情况。电子枪的扫描强度不同，需要有不同的透光率。镀膜时，蒸发源材料也会沉积在观察窗上，随着沉积层加厚，透光率减小，因此必须定期更换观察窗，这样成本较高且影响了正常生产。
技术实现思路
为了克服现有技术中镀膜时观察窗的透光率会减小的问题，本技术提供一种用于真空镀膜设备的观察窗。本技术采用的技术方案是一种用于真空镀膜设备的观察窗，包括观察窗主体和设在所述观察窗主体上的观察孔，所述观察孔内设有透光玻璃，其特征在于还包括调光玻璃、保护膜和主动轴，所述观察窗本体上设有安装所述主动轴的孔，所述主动轴穿过所述孔与所述观察窗主体密封连接；所述调光玻璃设置在所述透光玻璃的外侧即所述透光玻璃背离真空镀膜机腔体的一侧，所述保护膜设置在所述透光玻璃的内侧即所述透光玻璃靠近真空镀膜机腔体的一侧。在透光玻璃的外侧设置调光玻璃，操作人员根据真空腔体内电子枪扫描的强度不同，调整调光玻璃选择不同的透光率，使操作人员既能看清电子枪扫描状态，又不会因光线太亮而损...
【技术保护点】
一种用于真空镀膜设备的观察窗，包括观察窗主体和设在所述观察窗主体上的观察孔，所述观察孔内设有透光玻璃，其特征在于：还包括调光玻璃、保护膜和主动轴，所述观察窗本体上设有安装所述主动轴的孔，所述主动轴穿过所述孔与所述观察窗主体密封连接；所述调光玻璃设置在所述透光玻璃的外侧即所述透光玻璃背离真空镀膜机腔体的一侧，所述保护膜设置在所述透光玻璃的内侧即所述透光玻璃靠近真空镀膜机腔体的一侧。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈虹飞，陈军，刘黎明，关永卿，洪婧，田俊杰，汪文忠，邓凤林，郑栋，将卫金，赵山泉，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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