【技术实现步骤摘要】
本技术属于太阳能电池制备
，具体涉及一种太阳能电池用光致化学沉积装置。
技术介绍
近年来，环境和能源逐渐成为二十一世纪的主要课题，随着石油等化石燃料的逐渐减少以及环境污染给地球带来的巨大破坏，能源问题日益成为制约国际社会经济发展的瓶颈。太阳能光伏在不远的将来将成为世界能源供应的主体，预计到2040年，可再生能源将占全球能源总消耗的50%以上，太阳能光伏发电将占总电力的20%以上；到21世纪末，可再生能源在全球能源结构中将占到80%以上，太阳能发电将占到60%以上。 目前，常规太阳能电池的钝化和减反主要是通过沉积氮化硅薄膜来实现的。在硅片表面沉积一层折射率为2. 0-2. I的氮化硅薄膜，伴随着H离子的注入，悬挂键的饱和，实现硅片的钝化；同时这层氮化硅薄膜厚度为80nm，通过干涉特性，有效的实现硅片表面反射率的降低。但是，由于氮化硅薄膜中存在大量的表面电荷，界面处的隧道效应和捕获效应，使Si3N4-Si结构表现出表面特性的滞后现象及电荷的不稳定性。二氧化硅薄膜依赖其优良的电学性能及其与硅之间良好的界面性质广泛的应用于半导体行业，相信在不久的将来也将取代现有的...
【技术保护点】
一种太阳能电池用光致化学沉积装置，其特征在于：包括补液系统、沉积系统，所述补液系统包括放置反应溶液的补液腔体，所述补液腔体内的底部安装有将反应溶液加热到反应温度的第一加热装置，其上部安装有实时监测补液系统温度的第一在线温度监测装置，所述补液腔体上设有将液体输送至沉积系统的液体输出管道，其内在液体输出管道的上方设有过滤装置，所述液体输出管道上安装有控制定量传输反应溶液的液体流量计；所述沉积系统包括沉积反应腔体，所述沉积反应腔体的底部安装有将反应溶液加热到反应温度的第二加热装置、向沉积反应腔体内间隔时间输送高纯氮气和控制反应溶液均匀性的鼓泡装置、控制反应时间的时间控制器以及控制...
【技术特征摘要】
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