一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置，包括由不锈钢薄板卷成的圆筒、固定挡片以及保护玻璃。本实用新型专利技术可以将保护玻璃卡持在观察窗座内腔中，并与观察玻璃贴合，达到最佳观察效果。保护玻璃在观察玻璃与真空腔室形成间隔，可以阻挡污染物，有效地阻止其沉积在观察玻璃上，减少观察玻璃的拆卸次数，保护观察玻璃不被污染，达到保护观察窗的目的。本实用新型专利技术由一张带有固定挡片的不锈钢薄板制成，不需要复杂的加工，制作简单。当保护玻璃经过长期使用变得模糊后，只要将圆筒从观察窗座内腔内取出，然后展开便可将保护玻璃取下进行清洗，方便简单。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及真空镀膜设备
，具体涉及一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置，包括由不锈钢薄板卷成的圆筒、固定挡片以及保护玻璃。本技术可以将保护玻璃卡持在观察窗座内腔中，并与观察玻璃贴合，达到最佳观察效果。保护玻璃在观察玻璃与真空腔室形成间隔，可以阻挡污染物，有效地阻止其沉积在观察玻璃上，减少观察玻璃的拆卸次数，保护观察玻璃不被污染，达到保护观察窗的目的。本技术由一张带有固定挡片的不锈钢薄板制成，不需要复杂的加工，制作简单。当保护玻璃经过长期使用变得模糊后，只要将圆筒从观察窗座内腔内取出，然后展开便可将保护玻璃取下进行清洗，方便简单。【专利说明】-种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置
本技术涉及真空镀膜设备
，具体涉及一种用于保护真空镀膜设备观 察窗的装置。
技术介绍
真空镀膜是一种制备功能薄膜、装饰膜层以及材料表面改性的常用手段，在现代 工业生产及科学研究中有着广泛的应用。观察窗是真空镀膜设备不可缺少的装置，在真空 镀膜设备运行过程中至关重要。在真空镀膜过程中，操作者可以通过观察窗随时观察真空 腔室内部运行状况，掌控镀膜的进展，保证镀膜工艺的顺利进行及设备的安全运行。常用的 观察窗一般采用挡板来保护观察玻璃不被污染。但由于结构简单，在镀膜过程中，仍然会有 少量沉积物附着在观察玻璃上。同时，在长期使用观察窗观察镀膜实时情况后，观察玻璃会 被沉积上污染物变得模糊不清，甚至无法观察真空腔室内的工作情况。在这种情况下，往往 需要拆卸观察窗，卸下观察玻璃进行清理。由于观察窗直接连接真空腔室，频繁的拆卸会导 致该部位密封性能变差，从而影响真空腔室的真空度及镀膜的质量。并且，对于采用金属密 封垫圈的观察窗，每次拆卸都需要更换金属密封垫圈，成本较大。
技术实现思路
本技术就是为了解决现有技术中的不足，提供一种结构简单、清理方便并能 有效保护观察玻璃不被污染的装置。 为实现上述目的，提供一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置，包括由不锈钢 薄板卷成的圆筒8、固定挡片9、固定挡片11以及保护玻璃10,其特征在于所述装置圆筒由 一张不锈钢薄板卷成，薄板上事先做好固定保护玻璃用的固定挡片，使用时将带有保护玻 璃的一端放进观察座的内腔中，并将圆筒外内推，使保护玻璃和观察玻璃贴合，所述的观察 窗座一般为圆柱体并密封焊接在真空腔室上。保护玻璃在观察玻璃与真空腔室之间现成了 间隔，从而可以有效地保护观察玻璃不被污染，达到减少拆卸观察窗的目的。 所述的不锈钢薄板应具有一定的韧性，可以在薄板上折出永久变形的挡片。 所述的不锈钢薄板还应具有一定的弹性，在卷成圆筒后，可以依靠自身的弹性将 装置固定在观察窗座内腔中并保持圆筒形状。 所述的固定挡片主要用于固定保护玻璃，挡片的数量及尺寸可以根据保护玻璃的 尺寸和重量进行调整。 所述的保护玻璃的直径要略小于观察窗座内腔的直径，保护玻璃由固定挡片固定 在圆筒的一端，并随圆筒朝内卡持在观察窗座内腔中，与观察玻璃贴合。 所述的圆筒长度要略长于观察窗座内腔的深度，以便于圆筒从观察窗座内腔中取 出，但不能挡住观察窗的挡板。 本技术在现有观察窗保护措施的基础上，采用一种简单的装置，将保护玻璃 至于观察窗座内腔中，使得观察玻璃与真空腔室之间形成间隔，达到保护观察玻璃不被污 染、减少拆卸观察窗的目的。本技术的圆筒由一张事先做好固定挡片的不锈钢薄板卷 成，制作简单。保护玻璃通过该圆筒可以卡持在观察窗座内腔内，并与观察玻璃贴合。从而， 保护玻璃可以挡住污染物，有效地阻止其沉积在观察玻璃上，减少观察玻璃的拆卸次数，达 到保护观察窗的目的。由于保护玻璃挡住了污染物，长期使用后会变得模糊。此时，只要将 圆筒从观察窗座内腔中取出，然后展开便可将保护玻璃取下进行清理，方便简单。 【专利附图】【附图说明】 图1是用于制作本技术圆筒的不锈钢薄板示意图； 如图所示，图中：1为不锈钢薄板2、3、4、5、6、7为固定挡片； 图2是本技术的结构示意图和截面图； 图3是将本技术置于观察窗座内腔内的实施示意图； 如图所示，图中：14为观察玻璃15为观察窗座内腔16为本技术装置17 为保护玻璃18为真空腔室壁。 【具体实施方式】 下面结合附图对本技术作进一步说明，这种装置的结构和原理对于本实用新 型来说是非常清楚明了的。 本技术包括由不锈钢薄板卷成的圆筒、固定挡片以及保护玻璃，其特征在于 所述装置圆筒由一张不锈钢薄板卷成，薄板上事先做好固定保护玻璃用的挡片，使用时将 带有保护玻璃的一端放进观察座的内腔中，并将圆筒外内推，使保护玻璃和观察玻璃贴合， 所述的观察窗座一般为圆柱体且密封焊接在真空腔室上。保护玻璃在观察玻璃与真空腔室 之间现成了间隔，从而可以有效地保护观察窗上观察玻璃不被污染，达到减少拆卸观察窗 的目的。经过长期使用，挡板玻璃会变得模糊。此时，只要将圆筒从观察窗座内腔中取出， 然后展开便可将保护玻璃取下进行清理。操作方便简单，不影响真空室密封性能，挡板玻璃 清理干净后可以重新使用。 首先按照图1所示，在不锈钢薄板1上剪裁出"凸"形结构的固定挡片2、3、4、5、6、 7。然后将固定挡片沿图1中所示的虚线朝同一方向折90°，形成固定圆形保护玻璃用的卡 槽结构。接着把保护玻璃放入由固定挡片形成的卡槽内，并将不锈钢薄板沿着保护玻璃的 外围卷成圆筒，如图2所示，固定挡片9、11将保护玻璃固定在圆筒8的一端。在使用时，将 带有保护玻璃的一端放入观察窗座内腔中，并将圆筒外内推，使保护玻璃和观察玻璃贴合， 获得最佳观察效果。本技术置于观察窗座内腔内的实施示意图如图3所示，保护玻璃 17可以随圆筒16卡持在观察窗座内腔15中，将观察玻璃14和真空腔室隔开。在使用观察 窗观察真空室内镀膜状态时，保护玻璃可以挡住污染物，避免沉积到观察玻璃上对观察玻 璃造成污染，从而达到减少拆卸观察窗的目的。如图3所示，所设计的圆筒长度要略长于观 察窗座内腔的深度，圆筒有部分超出真空腔室壁18,露在真空腔室内。在需要清理保护玻璃 时，可以很容易地把圆筒从观察窗座内腔中取出，然后展开便可取下保护玻璃进行清理。【权利要求】1. 一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置，包括由不锈钢薄板卷成的圆筒（8)、固 定挡片（9)、固定挡片（11)以及保护玻璃（10)，其特征在于所述装置圆筒由一张不锈钢薄 板卷成，薄板上事先做好固定保护玻璃用的固定挡片，使用时将带有保护玻璃的一端放进 观察座的内腔中，并将圆筒外内推，使保护玻璃和观察玻璃贴合，所述的观察窗座一般为圆 柱体并密封焊接在真空腔室上，保护玻璃在观察玻璃与真空腔室之间现成了间隔，从而可 以有效地保护观察玻璃不被污染，达到减少拆卸观察窗的目的。2. 如权利要求1所述的一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置，其特征在于所述的 不锈钢薄板应具有一定的韧性，可以在薄板上折出永久变形的挡片。3. 如权利要求1所述的一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置，其特征在于所述的 不锈钢薄板还应具有一定的弹性，在卷成圆筒后，可以依靠自身的弹性将装置固定在观察 窗座内腔中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置，包括由不锈钢薄板卷成的圆筒（8）、固定挡片（9）、固定挡片（11）以及保护玻璃（10），其特征在于所述装置圆筒由一张不锈钢薄板卷成，薄板上事先做好固定保护玻璃用的固定挡片，使用时将带有保护玻璃的一端放进观察座的内腔中，并将圆筒外内推，使保护玻璃和观察玻璃贴合，所述的观察窗座一般为圆柱体并密封焊接在真空腔室上，保护玻璃在观察玻璃与真空腔室之间现成了间隔，从而可以有效地保护观察玻璃不被污染，达到减少拆卸观察窗的目的。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林岚，邹慧慧，张平，
申请(专利权)人：张平，台州学院，
类型：新型
国别省市：浙江;33