一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，具体的说是一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗，包括钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖，所述观察窗还包括遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块。本实用新型专利技术采用双重式保护结构：挡玻璃置于观察窗座内腔，在观察玻璃与真空腔室之间形成间隔，构成第一重保护。遮板置于真空腔室内，遮蔽观察窗视口，形成第二重保护。本实用新型专利技术与现有技术相比能够有效防止真空腔室内的溅射物在观察玻璃和挡板玻璃上的沉积，保证观察窗具有良好的观察效果，降低挡板玻璃的更换次数，结构新颖，使用方便，密封性能好，安全可靠。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗本技术涉及真空镀膜
，具体的说是一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗。观察窗是真空镀膜设备运行过程中至关重要的装置，起着非常重要的作用。操作者使用观察窗实时监测真空腔室内设备的运行状况，从而控制镀膜进度，保证镀膜质量和设备运行的安全性。传统的观察窗结构简单，在镀膜过程中，真空腔室内会有少量溅射物附着在观察玻璃上。随着溅射物的不断沉积，观察窗玻璃会变得模糊不清，甚至无法观察真空腔室内的工作情况，直接影响到了作业的监控，带来安全隐患，不够安全可靠。·本技术就是为了解决现有技术中的不足，提供一种结构新颖、能起到双重保护作用的真空腔室观察窗。为实现上述目的，提供一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗，包括遮板I、密封圈2、快卸连接器3、磁流体密封件4、卡环5、手柄6、挡块15、钢丝挡圈8、挡玻璃9、密封圈10、观察玻璃11、橡胶垫圈12和法兰盖13，其特征在于第一重保护结构由钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成，在观察窗座的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈，所述观察窗座密封焊接在真空腔室上，挡玻璃在观察窗和真空腔室之间形成间隔，并在钢丝挡圈的作用下与观察玻璃贴合；第二重保护结构由遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成，磁流体密封件通过快卸连接器和密封圈固联在法兰连接器上，所述法兰连接器密封焊接在真空腔室上，磁流体密封件的真空腔内一端设有遮板，另一端设有卡环和手柄，遮板在重力作用下自动转回直至其下沿与挡块相接。所述的钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈由观察窗座内腔的凹槽、法兰盖和螺钉共同固定。所述的挡板玻璃由钢丝挡圈卡持在观察窗座内腔，并与观察玻璃贴合。所述的钢丝挡圈开设有缺口，并在缺口尾端折有弯爪。所述的磁流体密封件作为旋转机构。所述的快卸连接器对磁流体密封件进行密封联接。本技术同现有技术相比，采用了双重保护结构，挡玻璃置于观察窗座内腔，在观察玻璃与真空腔室之间形成间隔，构成第一重保护。遮板置于真空腔室内，遮蔽观察窗视口，构成第二重保护。其次，本技术的挡玻璃由钢丝挡圈卡持在观察窗座内腔，并与观察玻璃贴合，可以更好的保护观察玻璃。钢丝挡圈开有缺口，并在缺口尾端折有弯爪。通过捏住弯爪即可拆卸钢丝挡圈，方便取出挡玻璃进行更换。另外，本技术采用磁流体密封件作为旋转动力传输件，使得传动机构简洁紧凑，密封性好。采用快卸连接器进行密封联接，便于装置拆卸，且密封性能好。遮板可在重力的作用下，自动转回直至其下沿与挡块相接，将观察窗完全遮蔽。图I是本技术的真空腔室观察窗的结构示意图；图2是本技术的真空腔室观察窗的遮板施用示意图；如图所示，图中1为遮板2为密封圈3为快卸连接器4为磁流体密封件5为卡环6为手柄7为法兰连接器8为钢丝挡圈9为挡玻璃10为密封圈11为观察玻璃12为橡胶垫圈13为法兰盖14为观察窗座15为挡块16为观察窗视口；指定图I为本技术的摘要附图。 [具体实施方式]以下结合附图对本技术作进一步说明，这种装置的结构和原理对本技术来说是非常清楚的。本技术包括钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖，所述观察窗还包括遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块。所述真空腔室观察窗的第一重保护由钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成。在观察窗座的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈，该五个部件由观察窗座内腔的凹槽、法兰盖和螺钉共同作用固定。所述观察窗座密封焊接在真空腔室上。挡玻璃在观察窗和真空腔室之间形成间隔，并在钢丝挡圈的作用下与观察玻璃贴合，保护观察玻璃。所述真空腔室观察窗的第二重保护由遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成。磁流体密封件使用快卸连接器和密封圈固联在法兰连接器上。所述法兰连接器密封焊接在真空腔室上。磁流体密封件的真空腔内一端安装遮板，另一端安装卡环和手柄。遮板在重力作用下自动转回直至其下沿与挡块相接，将观察窗完全遮蔽，保护挡玻璃和观察玻璃。如图I所示，是本技术的结构示意图，所述的观察窗包括钢丝挡圈8、挡玻璃9、密封圈10、观察玻璃11、橡胶垫圈12和法兰盖13，所述观察窗还包括遮板I、密封圈2、快卸连接器3、磁流体密封件4、卡环5、手柄6和挡块15。如图I所示，在观察窗座14的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈8、挡玻璃9、密封圈10、观察玻璃11、橡胶垫圈12，该五个部件由观察窗座14内腔的凹槽、法兰盖13和螺钉共同作用固定。磁流体密封件4安装在法兰连接器7上，使用快卸连接器3对两部件进行连接。磁流体密封件4和法兰连接器7的安装面之间置有密封圈2。遮板I安装在磁流体密封件4的真空腔室内一端，使用键进行固定。卡环5安装在磁流体密封件4的真空腔室外一端，使用键和螺钉进行固定。卡环5上安装手柄6。挡块15置于真空腔室内部，靠近观察窗的侧壁上，用于定位遮板I的位置。挡玻璃9由钢丝挡圈8卡持在观察窗座14内腔，并与观察玻璃11贴合。在挡玻璃9观察玻璃11与真空腔室之间形成间隔，构成第一重保护。遮板I置于真空腔室内，遮挡观察窗视口，防止镀膜过程中的溅射物直接在挡玻璃9上沉积，间接保护观察玻璃11，构成第二重保护。钢丝挡圈8设有弯爪结构，捏住弯爪，即可卸下钢丝挡圈8，取出挡玻璃9进行更换，操作过程简便快捷。如图2所示，遮板I在重力的作用下，自动转回直至其下沿与挡块15相接，将观察窗完全遮蔽。逆时针旋转手柄6，通过磁流体密封件4带动遮板I旋转，即可重新打开观察窗视口。·权利要求1.一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗，包括遮板(I)、密封圈(2)、快卸连接器(3)、磁流体密封件(4)、卡环(5)、手柄(6)、挡块(15)、钢丝挡圈(8)、挡玻璃(9)、密封圈(10)、观察玻璃(11)、橡胶垫圈(12)和法兰盖(13)，其特征在于第一重保护结构由钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成，在观察窗座的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈，所述观察窗座密封焊接在真空腔室上，挡玻璃在观察窗和真空腔室之间形成间隔，并在钢丝挡圈的作用下与观察玻璃贴合；第二重保护结构由遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成，磁流体密封件通过快卸连接器和密封圈固联在法兰连接器上，所述法兰连接器密封焊接在真空腔室上，磁流体密封件的真空腔内一端设有遮板，另一端设有卡环和手柄，遮板在重力作用下自动转回直至其下沿与挡块相接。2.如权利要求I所述的一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗，其特征在于所述的钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈由观察窗座内腔的凹槽、法兰盖和螺钉共同固定。3.如权利要求I所述的一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗，其特征在于所述的挡板玻璃由钢丝挡圈卡持在观察窗座内腔，并与观察玻璃贴合。4.如权利要求I所述的一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗，其特征在于所述的钢丝挡圈开设有缺口，并在缺口尾端折有弯爪。5.如权利要求I所述的一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗，其特征在于所述的磁流本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗，包括遮板（1）、密封圈（2）、快卸连接器（3）、磁流体密封件（4）、卡环（5）、手柄（6）、挡块（15）、钢丝挡圈（8）、挡玻璃（9）、密封圈（10）、观察玻璃（11）、橡胶垫圈（12）和法兰盖（13），其特征在于第一重保护结构由钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成，在观察窗座的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈，所述观察窗座密封焊接在真空腔室上，挡玻璃在观察窗和真空腔室之间形成间隔，并在钢丝挡圈的作用下与观察玻璃贴合；第二重保护结构由遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成，磁流体密封件通过快卸连接器和密封圈固联在法兰连接器上，所述法兰连接器密封焊接在真空腔室上，磁流体密封件的真空腔内一端设有遮板，另一端设有卡环和手柄，遮板在重力作用下自动转回直至其下沿与挡块相接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：葛治亮，李险峰，张超群，汪舒生，
申请(专利权)人：中国建材国际工程集团有限公司，
类型：实用新型
国别省市：