一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，具体的说是一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗，包括钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖，所述观察窗还包括遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块。本实用新型专利技术采用双重式保护结构：挡玻璃置于观察窗座内腔，在观察玻璃与真空腔室之间形成间隔，构成第一重保护。遮板置于真空腔室内，遮蔽观察窗视口，形成第二重保护。本实用新型专利技术与现有技术相比能够有效防止真空腔室内的溅射物在观察玻璃和挡板玻璃上的沉积，保证观察窗具有良好的观察效果，降低挡板玻璃的更换次数，结构新颖，使用方便，密封性能好，安全可靠。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗本技术涉及真空镀膜
，具体的说是一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗。观察窗是真空镀膜设备运行过程中至关重要的装置，起着非常重要的作用。操作者使用观察窗实时监测真空腔室内设备的运行状况，从而控制镀膜进度，保证镀膜质量和设备运行的安全性。传统的观察窗结构简单，在镀膜过程中，真空腔室内会有少量溅射物附着在观察玻璃上。随着溅射物的不断沉积，观察窗玻璃会变得模糊不清，甚至无法观察真空腔室内的工作情况，直接影响到了作业的监控，带来安全隐患，不够安全可靠。·本技术就是为了解决现有技术中的不足，提供一种结构新颖、能起到双重保护作用的真空腔室观察窗。为实现上述目的，提供一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗，包括遮板I、密封圈2、快卸连接器3、磁流体密封件4、卡环5、手柄6、挡块15、钢丝挡圈8、挡玻璃9、密封圈10、观察玻璃11、橡胶垫圈12和法兰盖13，其特征在于第一重保护结构由钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成，在观察窗座的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈，所述观察窗座密封焊接在真空腔室上，挡本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗，包括遮板（1）、密封圈（2）、快卸连接器（3）、磁流体密封件（4）、卡环（5）、手柄（6）、挡块（15）、钢丝挡圈（8）、挡玻璃（9）、密封圈（10）、观察玻璃（11）、橡胶垫圈（12）和法兰盖（13），其特征在于第一重保护结构由钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成，在观察窗座的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈，所述观察窗座密封焊接在真空腔室上，挡玻璃在观察窗和真空腔室之间形成间隔，并在钢丝挡圈的作用下与观察玻璃贴合；第二重保护结构由遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成，磁流体密...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：葛治亮，李险峰，张超群，汪舒生，
申请(专利权)人：中国建材国际工程集团有限公司，
类型：实用新型
国别省市：