本实用新型公开一种低温沉积柔性基材ITO膜镀膜装置，是将可实现正转和反转的基材卷绕机构、离子源和非平衡中频磁控溅射机构分别设于容器体内，离子源设于基材卷绕机构中放卷组件的外侧，非平衡中频磁控溅射机构设于基材卷绕机构中主辊的外侧；容器体外...

本实用新型公开一种镀膜机用的发热管定位机构，包括定位座管、管套和连接板，定位座管的顶端通过连接板与发热管的尾端连接，定位座管的底端设有管套，定位座管通过管套固定于镀膜机的容器大门底板上。本镀膜机用的发热管定位机构是在传统发热管的基础上进...

本实用新型公开一种带独立真空锁的真空镀膜装置，包括多个呈直线连续式排列的多个真空室，相邻两个真空室之间设置独立结构的真空锁，真空锁两侧分别与相应的真空室密封连接。该装置中，真空锁为独立结构，且设于真空室外部，可以作为单独的组成机构进行装...

本实用新型公开一种真空镀膜机用的多规格工件转动机构，包括公转齿轮盘、公转驱动电机和多个工件杆，公转驱动电机的输出端通过公转小齿轮与公转齿轮盘连接，公转齿轮盘上分布有多圈工件杆，各工件杆顶部均与公转齿轮盘固定连接，各圈工件杆分别位于公转齿...

本实用新型公开一种电弧镀膜机用的门式弧挡板，包括弧挡板和旋转驱动机构，弧挡板设于弧靶上下两侧的容器下板和容器顶板之间，弧挡板的一端与穿过容器下板的旋转驱动机构连接，弧挡板的另一端与容器顶板连接；弧挡板的转动角度为0～90°。本电弧镀膜机...

本实用新型公开一种蒸发镀膜机用的电极装置，包括电极棒、电极输入棒气缸和连接座，电极输入棒一端与电极棒连接，电极输入棒另一端通过连接座与气缸连接，气缸竖直设于电极输入棒上方，气缸与电极输入棒同轴设置。本电极装置将气缸竖直设于电极输入棒上方...

本发明公开一种低温沉积柔性基材ITO膜镀膜装置及方法，其装置是将可实现正转和反转的基材卷绕机构、离子源和非平衡中频磁控溅射机构分别设于容器体内，离子源设于基材卷绕机构中放卷组件的外侧，非平衡中频磁控溅射机构设于基材卷绕机构中主辊的外侧；...

本实用新型公开一种水冷式测温规管机构，包括规管座和水冷固定座，规管座设于水冷固定座的一端，规管座和水冷固定座分别设于待冷却件的外周；规管座包括规管盖、规管圈和规管螺母，规管盖和规管圈相连接且分别套于待冷却件外周，规管螺母设于规管盖和规管...

本实用新型公开一种圆筒形镀膜室用的工件架限位机构，包括固定座、限位架和限位轮组件，限位架一侧固定于固定座上，限位轮组件设于限位架的另一侧上并滑动于限位架上，限位架位于限位轮组件和固定座之间的连接段上设有弹簧。本圆筒形镀膜室用的工件架限位...

本实用新型公开一种适用于多规格工件输送的玻璃上片机构，包括料架和料架传送组件，料架传送组件设于料架底部；料架中部设置工件固定架，工件固定架上部设有多个横向固定位，其中一个横向固定位上设有固定板，工件固定架底部设有导向轮和工件输送带，工件...

本实用新型公开一种镀膜机用的水路接头机构，包括水管接头、紧套和锁母，水管接头的一端带有锥状结构，锥状结构嵌于水管内，锁母套于水管外周并锁紧水管和水管接头，紧套设于锁母与水管的连接处。本镀膜机用的水路接头机构为金属密封接头方式，密封效果好...

本实用新型公开一种线形布气机构，包括由上至下依次连接的上压板、充气板和下压板，充气板上分布有多级充气槽，相邻两级充气槽之间通过气孔连通，第一级充气槽外接气源。本线形布气机构采用中心入气，再通过多层充气槽逐层向充气板两端布气，布气均匀，可...

本实用新型公开一种真空室抽气用的片式节流阀，设于真空室出口与精抽阀之间，包括挡板、旋转轴和旋转驱动机构，旋转轴横向设于挡板中部并通过轴套与挡板固定连接，旋转轴一端与旋转驱动机构连接。本真空室抽气用的片式节流阀与传统的多片式节流阀相比较，...

本实用新型公开一种真空镀膜室用的气动门扣机构，包括气缸、摆臂、活动杆和紧扣件，气缸通过气缸固定座固定于真空镀膜室的门体四周侧壁上，摆臂一端与气缸的输出端铰接，摆臂另一端设置紧扣件，活动杆一端与摆臂中部连接，活动杆另一端通过活动座设于气缸...

本实用新型公开一种镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构，包括阀体和多个相互独立的挡板阀，各挡板阀分别设于阀体内，阀体底部设有多个连接口，每个挡板阀对应一个连接口，各连接口分别外接镀膜机的真空室，阀体侧壁设有外接分子泵的抽气口。本镀...

本实用新型公开一种真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构，包括磁铁组件、磁铁固定座、挡板轴和调节轮转动轴，磁铁组件设于磁铁固定座中部，磁铁固定座嵌入真空镀膜室的容器壁，磁铁固定座内，挡板轴和调节轮转动轴分别设于磁铁组件的两侧，挡板轴的外端与...

本实用新型公开一种真空镀膜室用的视镜机构，视镜腔内设有挡板组件，挡板组件包括挡板、挡板轴和挡板座，挡板轴通过挡板座固定于视镜腔内，挡板设于挡板轴的输出末端，挡板轴上还设有多个与挡板并列设置的隔热板，任意相邻的两个隔热板之间设有陶瓷垫圈，...

本实用新型公开一种真空镀膜室用的手动式视镜机构，包括挡板轴、挡板座、挡板和多个隔热板，挡板轴穿过视镜玻璃中心并伸入视镜腔内，挡板轴通过挡板座固定于视镜玻璃上，位于视镜腔内的挡板轴端部设置挡板，挡板与视镜玻璃之间设置多个隔热板，多个隔热板...

本实用新型公开一种光学镀膜机工件夹具用的安装辅助机构，包括摆动支架和夹具固定组件，工件夹具通过夹具固定组件固定于摆动支架中部，摆动支架一端设有固定架，摆动支架与固定架铰接。本安装辅助机构是针对光学镀膜机工件夹具的安装而提出的，通过摆动支...

本实用新型公开一种光学镀膜机工件盘用的可调式旋转支架，包括上下调节杆组件、旋转机构和支撑框架，支撑框架设有工件盘底部，支撑框架下方沿圆周方向分布有多组上下调节杆组件，各上下调节杆组件底部与旋转机构连接。本光学镀膜机工件盘用的可调式旋转支...