真空室抽气用的片式节流阀制造技术

本实用新型专利技术公开一种真空室抽气用的片式节流阀，设于真空室出口与精抽阀之间，包括挡板、旋转轴和旋转驱动机构，旋转轴横向设于挡板中部并通过轴套与挡板固定连接，旋转轴一端与旋转驱动机构连接。本真空室抽气用的片式节流阀与传统的多片式节流阀相比较，其挡板结构相对简单，制作方便，挡板使用时其密封性能较好，可有效保障真空室内的真空度；另外，采用电机和蜗轮蜗杆组件作为挡板的旋转驱动机构，通过旋转轴及其轴套带动挡板旋转，使用时只要调整电机的输入参数即可精确调节挡板的旋转角度，使用方便，节流阀的开度也可以得到精确的控制。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
真空室抽气用的片式节流阀，设于真空室出口与精抽阀之间，其特征在于，包括挡板、旋转轴和旋转驱动机构，旋转轴横向设于挡板中部并通过轴套与挡板固定连接，旋转轴一端与旋转驱动机构连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱刚劲，朱刚毅，朱文廓，
申请(专利权)人：肇庆市腾胜真空技术工程有限公司，
类型：实用新型
国别省市：