温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开一种真空室抽气用的片式节流阀，设于真空室出口与精抽阀之间，包括挡板、旋转轴和旋转驱动机构，旋转轴横向设于挡板中部并通过轴套与挡板固定连接，旋转轴一端与旋转驱动机构连接。本真空室抽气用的片式节流阀与传统的多片式节流阀相比较，其挡...
该专利属于肇庆市腾胜真空技术工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过肇庆市腾胜真空技术工程有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。