【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
圆筒形镀膜室用的工件架限位机构,其特征在于,包括固定座、限位架和限位轮组件,限位架一侧固定于固定座上,限位轮组件设于限位架的另一侧上并滑动于限位架上,限位架位于限位轮组件和固定座之间的连接段上设有弹簧。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:朱刚劲,朱刚毅,朱文廓,
申请(专利权)人:肇庆市腾胜真空技术工程有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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