【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
基片架专用玻璃载具，包括两组框架组件和若干个支撑杆，两组框架组件分别为第一框架组件和第二框架组件，第一框架组件和第二框架组件分别是由两个平行放置的框架杆构成，四个框架杆首尾相连构成闭合的平行四边形结构，每个支撑杆两端分别固定在第一框架组件的两个框架杆上或第二框架组件的两个框架杆上，第一框架组件、第二框架组件和支撑杆端面上有载物槽口，其特征在于：至少一组框架组件和至少一个支撑杆的材料为耐热金属材料。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭祖华，
申请(专利权)人：蚌埠雷诺真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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